静电控制参数实时监控系统通用规范.pdf

GB/TXXXX-XXXX

静电控制参数实时监控系统通用规范

1范围

本文件界定了静电控制参数实时监控系统（以下简称：监控系统）的架构和静电控制参数类型，规

定了监控系统的功能要求和性能要求，描述了对应的测试方法。

本文件适用于监控系统的研发、设计、生产、检验和使用。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T37977.51静电学第5-1部分：电子器件的静电防护通用要求

3术语和定义

GB/T37977.51界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

静电控制参数electrostaticcontrolparameter

静电控制水平的物理量。

示例：对地电阻、表面电阻、静电电压。

3.2

静电控制参数实时监控系统real-timemonitoringsystemofelectrostaticcontrolparameter

具有现场静电控制参数采集、数据上传、存储、分析、处理、展示和控制等功能的系统。

3.3

监控终端monitoringterminal

在静电控制参数实时监控系统中，用于现场数据采集和/或处理的装置。

3.4

管理平台managementplatform

在静电控制参数实时监控系统中，用于完成系统配置、数据存储、数据分析、数据处理、数据展示

等功能的软件。

4静电控制参数

4.1概述

静电控制的实现方法和管控方式：

a)静电起电控制,包括：

1)控制材料的电阻率、产品的电阻等参数；

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GB/TXXXXX—XXXX

2)控制与起电相关的工艺和环境参数，如环境温湿度、动作（流动）速率和静置时间等；

3)控制起电电压等参数，管控对象通常包括：人员行走、材料、设备、产品以及作业器具

的接触分离动作后的电压（电荷密度）等。

b)静电泄放回路的电阻控制，包括：人员对地、设备对地、工作表面（台垫、工作台和货架等）

对地、作业器具对地电阻等。

c)目标物上静电残余电压和衰减时间控制，包括各类静电消除设备。

4.2静电控制参数类型

静电控制参数和监控对象见表1，详细应用示例见附录A。

表1可实施实时监控的静电控制参数和对象

序号静电控制参数类型监控对象设备示例

各工序中产品表面表面电位监（检）测仪

材料、设备和器具的表面表面电位监（检）测仪

1电压（或电位）

人员行走电压—

静电消除设备充电平板检测仪（CPM）

2电荷密度液体和粉体等电荷密度监（检）测仪

环境温湿度温湿度监（检）测仪

3工艺和环境参数液体和粉体等流动速率流量监（检）测仪

液体和粉体等静置时间流量监测（计时器）

作业人员对地路