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ESD防护仿真技术研究

Research on System-level ESD Protection Simulation

摘 要：静电放电（ESD）一直是电子产品的重大威胁，严重的还会造成芯片失效。在设计阶段需对芯片受ESD冲

击后的耦合情况进行预测评估，并为芯片设计有效的ESD防护，实现系统级高效ESD设计（SEED）成为发展趋

势。文章研究了瞬态抑制二极管（TVS）对静电的响应情况，并将TVS分为回滞型与非回滞型，分别建立了SPICE模

型。提出了一种新的ESD发生器电路模型和全波模型，所得电流波形与实测数据吻合较好。两种模型的电流特征值与 

IEC 61000-4-2:2008要求的偏差较小。为复现完整的系统级ESD测试环境提供了支持，也为探索芯片在系统级ESD

测试下的行为模式打下基础。

关键词：静电放电；芯片失效；系统级ESD设计；瞬态抑制二极管；静电枪

Abstract：Electrostatic discharge (ESD) has always posed a significant threat to electronic components