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第61卷第1期真空VACUUMVol.61，No.1
2024年1月Jan.2024
脉冲阴极弧等离子体及有关特性研究
武洪臣，杨丽媛
（中国航发北京航空材料研究院，北京100095）
摘要：阴极弧（CathodicArcs）是目前多种薄膜及涂层制备工艺的重要物质来源。从阴极表面起弧形
成阴极斑点、产生等离子体（相变）、等离子体在真空室中的扩展（输运），到最终在施加偏压的基体上沉
积、凝聚形成涂层或薄膜，这一系列环节包含着复杂的物理过程。对这些过程及相关机制的深入分析
与认识，无疑会对涂层制备工艺起到重要的理论指导作用。本文简要回顾了人类对阴极弧有关的放电
现象的认识过程以及相关涂层的发展历史。对阴极放电机制以及与涂层工艺密切相关的等离子体行
为，诸如脉冲阴极弧等离子体速度、鞘层、斜入射与附着系数等问题进行了探讨与实验结果的汇总。旨
在为读者对阴极弧及其涂层工艺提供感性认识，为指导科研生产实践服务。
关键词：阴极弧；脉冲阴极弧等离子体；等离子体鞘层；斜入射；附着系数
中图分类号：O539；TB43文献标识码：A文章编号：1002-0322（2024）01-0001-09
doi：10.13385/j.cnki.vacuum.2024.01.01
ResearchonPulsedCathodicArcPlasmaandtheRelatedCharacteristics
WUHong-chen,YANGLi-yuan
（AECCBeijingInstituteofAeronauticalMaterials,Beijing100095,China）
Abstract：Cathodicarcisanimportantmaterialsourceforavarietyoffilmandcoatingpreparationprocesses.Fromthecathode
spotonthecathodesurface,thegeneration(phasetransition)andexpansion(transport)ofplasmainthevacuumchamber,tothefinal
depositiononthebiasedsubstratetoformacoatingorfilm,thisseriesoflinkscontaincomplexphysicalprocesses.Deeplyanalyzing
andunderstandingoftheprocessesandrelatedmechanismswillundoubtedlyplayanimportantroleinguidingthecoating
preparationprocess.Thispaperbrieflyintroducestheprocessofthedischargephenomenaandthehistoryoftherelatedcoatings
development.Thenthecathodedischargemechanismandtheplasmabehaviorscloselyrelatedtothecoatingprocess,suchasplasma
velocity,sheath,obliqueincidenceandattachmentcoefficientarediscussed.Theaimistohelpreadersformaclearphysicalimage
andcontextfortheprocessofcathodearcanditscoatingformation,andservetoguidethepracticeofscienti
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