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X射线光电子能谱法

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X-rayPhotoelectronSpectrum

Copyright2004-2011AsposePtyLtd.

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(XPS)

ØX射线光电子能谱法（X-rayPhotoelectronSpectrum，

简称XPS）是利用波长在X射线范围的高能光子照射被测样品，

测量由此引起的光电子能量分布的一种谱学方法。

Ø样品在X射线作用下，各种轨道电子都有可能从原子中激发

成为光电子，由于各种原子、分子的轨道电子的结合能是一

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定的，因此可用来测定固体表面的电子结构和表面组分的化

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学成分。在后一种用途时，一般又称为“化学分析光电子能谱

”（ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis，简称

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ESCA）。

ØXPS在实验时样品表面受辐射损伤小，能检测周期表中除H

和He以外所有的元素，并具有很高的绝对灵敏度。因此，

XPS是目前表面分析中使用最广的谱仪之一。

ØXPS在表面分析领域中是一种崭新的方法。

虽然用X射线照射固体材料并测量由此引起的

电子动能的分布早在本世纪初就有报道，但

当时可达到的分辨率还不足以观测到光电子

能谱上的实际光峰。

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Ø直到1958年，以Siegbahn为首的一个瑞典研

究小组首次观测到光峰现象，并发现此方法

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可以用来研究元素的种类及其化学状态，故

而取名“化学分析光电子能谱（Electron

SpectroscopyforChemicalAnalysis-

ESCA）。目前XPS和ESCA已公认为是同义

词而不再加以区别。

ØXPS的主要特点是它能在不太高的真空度下

进行表面分析研究，这是其它方法都做不到

的。当用电子束激发时，如用AES法，必须

使用超高真空，以防止样品上形成碳的沉积

物而掩盖被测表面。X射线比较柔和的特性使

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我们有可能在中等真空程度下对表面观察若

干小时而不会影响测试结果。

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Ø此外，化学位移效应也是XPS法不同于其它

方法的另一特点，即采用直观的化学认识即

可解释XPS中的化学位移，相比之下，在

AES中解释起来就困难的多。

Ø用X射线照射固体时，由于光电效应，原子的某一能级的电

子被击出物体之外，此电子称为光电子。

Ø如果X射线光子的能量为hν，电子在该能级上的结合能为Eb，

射出固体后的动能为Ec，则它们之间的关系为：

hν=Eb+Ec+Ws

Ø式中Ws为功函数，它表示固体中的束缚电子除克服个别原

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