电动机控制方法、输送装置和计算机程序产品.pdfVIP

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2024-04-10 发布于四川
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电动机控制方法、输送装置和计算机程序产品.pdf

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本发明提供能够在基片处理装置中将被输送体高精度地向输送目标位置输送的电动机控制方法、输送装置和计算机程序产品。电动机控制方法用于利用在电动机的驱动下移动的移动体来输送基片处理装置中的被输送体，所述电动机控制方法的特征在于，包括：数据获取步骤，在不同的时间获取关于所述电动机的驱动的驱动数据，该驱动数据会因该电动机的发热而改变；和输送步骤，基于所述各驱动数据来控制向所述电动机供给的电流，以补偿由该电动机的发热引起的所述被输送体相对于输送目标位置的偏移，并输送所述被输送体。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117856702A

(43)申请公布日2024.04.09

(21)申请号202311242255.4

(22)申请日2023.09.25

(30)优先权数据

2022-161085202

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