TFT-LCD玻璃基板板面划伤管控措施.docx

0

引言

本文以TFT-LCD玻璃基板产品板面品质优良为目标，将影响板面品质目标实现的不良现象划伤进行分析，研究其产生机理。通过对玻璃基板生产过程中接触的各种机械设备结构组成、运行原理、介质使用性能等进行研究，结合板面划伤产生机理进行风险识别，并制定相关的应对措施，最终达到降低玻璃基板划伤产生的目的。

1

划伤现象产生机理及表现

从划伤所呈现出的现象来看，通常在玻璃基板板面上表现为点状伤或线状（不规则）划伤。从划伤产生的机理分析，生产过程中当玻璃基板接触尖刺类介质或局部所受压强大于其自身硬度时，玻璃板面则出现点状伤的现象；当玻璃基板在生产过程中板面与其接触的机械设备零部件、介质之间发生的相对滑动超过了其自身的划痕硬度时则会在玻璃板面上呈现出线状（或不规则）划伤。

2

划伤风险识别及评估

（1）玻璃基板板面划伤风险识别

玻璃基板板面划伤产生往往与加工过程中玻璃基板接触的各种机械设备结构形式和介质有很大关系。按生产流程玻璃基板所接触的机械设备零部件和介质易出现板面划伤风险包括：半成品间隔纸、划线切割台面、掰断台面、研磨取片装置吸盘、研磨台面、各相邻输送单元速度差和空隙距离、清洗区域等。

（2）玻璃基板板面划伤风险评估

①半成品玻璃基板包装时，为避免相邻两片基板直接接触发生擦伤，通常在中间加入间隔纸且倾斜包装于A型架上，半成品玻璃基板包装数430片，力的作用是相互的，则靠近A型架斜板第一张玻璃基板所受压力F1＝F×430＝1290（N），实际过程还包括间隔纸重力，故所受压力比计算值略大。玻璃基板所受压力与其斜板之间距离成反比，即距离越小，所受压力越大，距离越大，所受压力越小。由于所使用的间隔纸存在一定的逸出物，故越靠近A型架斜板玻璃基板越容易发生点状划伤风险。

②当玻璃基板位于划线切割单元时，吸附装置首先将整张玻璃基板牢固吸附于工作台上，然后刀轮对其进行划线切割，此过程中易产生飞溅玻璃屑，其可能附着于玻璃基板或划线切割台上，都可能造成后续玻璃基板划伤风险，前者主要表现为当玻璃基板进入清洗区后，玻璃屑易嵌入清洗部件内，与玻璃基板接触相互作用发生划伤，后者主要表现为与玻璃基板直接接触发生划伤。

③当玻璃位于掰断单元时，机械装置掰断过程中，产生飞溅玻璃屑概率更大，玻璃屑附着于玻璃基板或掰断台面上，后续造成的玻璃基板划伤类型与划线切割单元类似，但风险更大。

④当玻璃基板进入研磨区后，其在研磨区内移动速度较快，易导致玻璃基板上玻璃屑掉落于研磨工作台上，且目前工作台与玻璃基板大面积直接接触，容易造成划伤发生。

⑤现有玻璃基板在研磨区内取放方式为：取放片吸盘位于玻璃基板下部。在玻璃基板放置于工作台进行边部研磨过程中，玻璃边部夹杂的玻璃屑及研磨产生的玻璃屑易飞溅到取片吸盘上，进行后续取玻璃基板时则易造成板面点状划伤现象。

3

应对措施

在玻璃基板板面划伤风险识别及评估基础上，对相应的结果采取规避、减轻、自留等应对措施，实现减少玻璃基板划伤发生的目标。

（1）玻璃基板板面划伤规避应对措施

①针对玻璃基板在相邻输送设备之间空隙向下弯曲情形，对设备做相应改进，在空隙处增加钢管（材质选用不锈钢），钢管上部安装喷嘴且均匀分布，钢管两端装配接头并通压缩空气，管路增加调节阀方便喷出气量控制，整管采取适宜安装方式于图1所示位置。喷头出气形状为扇形，当玻璃基板前端进入空隙处时，气体吹动保持其整板水平状态，玻璃基板整板平稳进入下段输送设备，确保玻璃基板与输送设备零部件接触后不再发生划伤。

图1相邻玻璃基板传输过程改进型示意图

②玻璃基板因工序之间设备传输速度差值造成的划伤问题，可通过技术调整结合检测仪器（测速仪）验证，使工序设备之间的传输速度一致，玻璃在传输过程中不再发生相对滑动，从根本上解决因速度差导致的玻璃基板划伤现象。

③针对研磨取片吸盘工作方式造成的板面划伤，可将研磨取片装置改型为取片吸盘位于玻璃基板上部且吸盘面向下，从根本上消除了取片吸盘上附着玻璃屑的可能，进而规避了取片时点状划伤风险发生，改型对比如图2所示。

图2研磨取片吸盘工作方式改型对比

（2）玻璃基板板面划伤减轻应对措施

①因半成品间隔纸选用造成玻璃基板划伤，可选用质量好、逸出物少的间隔纸，从而减轻玻璃划伤的风险，但同时也会增加间隔纸使用成本。考虑到玻璃受力与斜板距离成反比，靠近斜板部分玻璃基板发生的划伤风险高，可采用二分法，以总装片数中间片为分割点，靠A型架斜板前半部分玻璃基板间隔纸采用质量好、逸出物少的间隔纸，后半部分采用质量次之的间隔纸。这样既保证玻璃基板品质同时兼顾间隔纸使用成本。

②因玻璃基板在划线切割过程中造成的玻璃屑飞溅，可在切割刀轮头部增加收尘管道装置，在划线切割过程中对飞溅的玻璃屑回收，减轻其飞溅而导致后续划伤的发生，装置改进如图3所示。

图3划线切割刀头增加收尘管道示意图