高密度微槽结构精密加工技术.docx

针对轨控发动机内栓零件微槽结构装夹难度大、找正精度低及一致性难以保证等加工难点，通过设计专用工装、电阻法精密找正装置以及优化电加工参数等措施，顺利解决了微槽加工难题。经影像仪检测及热试车试验证明，该加工方法具有很好的可行性，有效保证了轨控发动机的性能及可靠性。

1?序言

在航空航天领域，许多零件包含尺寸微小的“微槽”结构，以达到精确控制流量的目的。目前，对于微槽结构的精密加工方法主要有切削加工、线切割加工等，而切削加工受制于刀具尺寸、变形等因素，很难加工特别微小的结构；线切割加工以其非接触加工无明显宏观应力，可加工微小尺寸，以及具有定位精度高等优点，可实现高密度微槽的精密加工。本文将重点介绍轨控发动机内栓零件高密度微槽结构的加工难点及精密加工方法。

2?零件结构及加工难点

为了达到精确控制流量的目的，某新研发动机喷注器首次采用高密度对称微槽结构+环缝的组合形式，其中内栓零件出口端包含了沿圆周方向均匀分布的36个（共18对）微槽结构，其尺寸微小（深度0.14mm、宽度0.3mm），精度要求高，且微槽的一致性及位置度要求较高。微槽结构的面积和位置度直接影响喷注器流量大小及均匀性，一方面决定了推进剂的燃烧效率，另一方面影响到发动机燃烧室壁面液膜冷却效率，对发动机的性能和可靠性起着至关重要的作用，是喷注器的核心结构。喷注器内栓零件结构如图1所示，内栓与中心杆组成的“微槽结构+环缝”组件如图2所示。

图1喷注器内栓零件结构

图2内栓与中心杆组成的“微槽结构+环缝”组件

经过加工工艺性分析，综合考虑工艺实现、加工成本和加工效率等因素，选取线切割加工方法成形。主要加工思路：采用分度头装夹专用工装，将内栓零件固定到专用工装上找正，然后电极丝端面找正，线切割第一个槽成形后，旋转10°，切割第2个槽，依此类推共18次。

依据上述加工思路，经过分析得出微槽结构的精度主要取决于专用工装设计、电极丝相对内栓零件的找正定位精度、电极丝速度及合适的电参数等工艺因素。主要难点如下。

（1）装夹内栓零件由于法兰处为四方结构，精确定位装夹难度很大，因此需要设计专用工装。

（2）定位找正精度由于高密度对称微槽宽度为0.3mm，深度为0.14mm，数量为36个，因此加工时需要多达18次的重复翻转。电极丝与零件基准的相对位置找正精度不够，极易累积装夹定位误差，不仅单个微槽尺寸超差，而且36个均布微槽的一致性也很难满足设计要求，直接影响喷注器流量大小及均匀性，进而影响发动机的可靠性，为此，需要精度较高的找正方法来保证。

（3）电参数优化选取线切割加工的微观过程较为复杂，加工精度及稳定性的研究很复杂，目前定量分析有一定的困难，电参数的摸索大多数依据经验结合工艺试验。微槽结构小，对电参数组合敏感，需要摸索合适的电参数组合。

3高密度微槽结构的精密线切割加工

根据上述分析，采取相应的措施解决加工难点，设计喷注器内栓零件高密度微槽加工路线如图3所示。

图3?喷注器内栓零件高密度微槽加工路线

3.1设计专用工装

由于喷注器内栓的端面是四方结构，不利于后续的装夹定位，故设计专用固定工装。此工装的装夹部分与端面的垂直度有严格的几何公差要求，需保证在0.008mm以内，同时工装与内栓贴合的端面平面度也应该保证在0.01mm以内；专用工装前端加工一凸台，凸台外圆与工装的装夹部分需保证同轴度0.008mm以内的要求，同时凸台外圆与内栓零件内孔严格配加工，装夹时依靠凸台定位，通过螺钉紧固，保证装夹后工装的装夹部分与固定在工装上的内栓加工微槽结构的外圆同轴度要求。内栓零件专用工装装夹如图4所示。

a）内栓零件装夹

b）专用工装背面

图4内栓零件专用工装装夹

3.2电阻法精密转正

定位找正的目的是确定电极丝与零件基准的相对位置，定位找正精度直接决定内栓零件的加工质量。如果找正方法选择不当、精度不高，则很难保证各个微槽尺寸的精度，同时加工过程需要18次反复的翻转，会导致均布槽一致性差。常用的线切割找正方法[2]如下。

（1）目测法采用目测法找正电极丝相对零件基准的位置误差较大，均布槽的一致性很难保证。

（（２）火花法移动工作台使工件的基准面逐渐靠近电极丝，在出现火花的瞬间记下工作台上的坐标，来记录电极丝相对零件基准的位置。但往往因电极丝靠近基准面时产生的放电间隙与正常切割条件下的放电间隙不完全相同而产生误差。

（３）自动找正目前大部分线切割机床具有接触感知功能，采用自动找正的方法去找边、找中心，找正精度比较高。但是该方法多次对边找正后的误差最大可达到0.05mm，不能满足36个微槽尺寸精度、微槽之间尺寸一致性要求。

（４）电阻法其原理是利用电极丝与工件基准面由绝缘到短路接触的瞬间两者间电阻突变的特点，来确定电极丝相对工件基准的坐标位置，重复定位精度较高，