高纯氨水工程计划书10000吨-20230330.docxVIP

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10000吨/年高纯氨水项目

新建工程规划书

(V1.0)

成都

2023年06月26日

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1、规划概况

本案从工业级液氨开始，氨气经多级纯化后由超纯水吸收，再经微孔滤膜过滤后，制成超净高纯氨水。本案借鉴已量产的成熟工艺技术，从工艺、设备、阀门、管道、控制组件、灌装、取样等多方面升级优化，使产品稳定到达UP3S的产品规格！

本计划预定建设一条年产能10000吨超净高纯氨水生产线，工期不含土建及厂房建筑约8个月完成建造安装，调试约1个月。

合作计划的范围将包括：

①、高纯氨水工艺生产技术的转移；②、高纯氨水设备及配管统包工程；③、技术支持、施工指导及调试所需的人力；

本公司协同技术团队来自国内半导体级电子化学品产业龙头企业，过去曾参与并主导多个电子化学品技术开发和建厂，是具有10ppt实绩的技术团队，拥有多年建厂、安装调试、试车量产、ppt级微量分析技术等经验。通过和本公司技术合作，将有助于贵公司在最短时间内达到目标质量和产能，为客户创造最大价值。

2、制程规划

超净高纯氨水项目设计年产能10000吨，使用符合国标GB536-88的工业级液氨为原料，采用蒸发、除水、吸附、多级洗涤、分离、吸收、超净过滤等工艺技术，制得所需浓度的(一般为29±

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1%)超净高纯氨水。

基本反应原