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φ100mm高重复性波长移相干涉仪研究的开题报告
开题报告：
引言：
波长移相干涉仪是一种应用于微纳米尺度位移测量的高精度光学测量技术，其原理是通过对两条光路分别暴露于相同波长的激光光束中，获得两条光路相位差的改变，最终根据光路相位变化得到待测对象的表面形貌变化。本研究将采用高重复性的φ100mm波长移相干涉仪，旨在研究其在微小尺度位移测量方面的应用。
研究内容：
1.建立φ100mm波长移相干涉仪的光路模型
本研究将建立φ100mm波长移相干涉仪的光路模型，包括光路的光源、透镜、干涉仪等，以及在光路中加入样品组件实现微小尺度位移测量。
2.实现高重复性的波长移相干涉仪
针对波长移相干涉仪中的激光光源、干涉仪等部件进行优化，实现高重复性的波长移相干涉仪。
3.分析波长移相干涉仪在微小尺度位移测量中的性能
采用本研究建立的φ100mm波长移相干涉仪对微小尺度位移进行测量，并分析其在位移测量中的精度和可靠性。
预期成果：
通过对φ100mm波长移相干涉仪的光路模型进行建立，并进行高重复性波长移相干涉仪实现，本研究旨在探索该技术在微小尺度位移测量方面的应用前景。同时，本研究将对波长移相干涉仪在位移测量性能方面进行深入的分析，为其在微纳米尺度位移测量方面的发展提供有力支撑。
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