微小孔径测量仪校准规范.pdf

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JJF18062020

微小孔径测量仪校准规范

1范围

,()、

本规范适用于微小孔径测量仪的校准该测量仪用于测量范围为0.1~1mm

ϕϕ

深度不超过3mm、深径比不大于9∶1的微孔和测量范围为()、深度不

1~20mm

ϕϕ

超过150mm、深径比不大于13∶1的小孔的测量。

2引用文件

本规范引用了下列文件:

—激光干涉仪

JJG7392005

—坐标定位测量系统校准规范

JJF12512010

/—直线度误差检测

GBT113362004

/—:

机床检验通则第部分数控轴线的定位精度和重复定

GBT17421.220162

位精度的确定

,;

凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文

,()。

件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范

3术语和计量单位

3.1瞄准触发aiminandtrierin

gggg

,“”,

传感器移动到测量方案所规定的指定位置时发出已瞄准的信号此信号启动

测量仪的相关测量机构和部件开始或结束工作的过程。

3.2瞄准触发测量measurementwithaiminandtrierin

gggg

应用瞄准触发原理进行的测量。

3.3微小孔microandsmallhole

。,

微孔和小孔的统称微孔是指直径小于1mm的孔小孔是指直径不小于1mm且

不大于20mm的孔。

3.4深径比asectratio

p

孔的深度和直径的比值。

3.5尺寸桥auebride

ggg

由量块按型结构研合而成的标准尺寸体。

U

4概述

()

微小孔径测量仪以下简称测量仪是应用瞄准触发原理进行微小孔径测量的

仪器。

,轴导轨和轴导轨位于工作台下方。

测量仪的典型结构如图所示其ZY

1

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