微小孔径测量仪校准规范.docx

JJF1806—2020

1

微小孔径测量仪校准规范

1范围

本规范适用于微小孔径测量仪的校准,该测量仪用于测量范围为(?0.1~?1)mm、深度不超过3mm、深径比不大于9∶1的微孔和测量范围为(?1~?20)mm、深度不超过150mm、深径比不大于13∶1的小孔的测量。

2引用文件

本规范引用了下列文件:

JJG739—2005激光干涉仪

JJF1251—2010坐标定位测量系统校准规范

GB/T11336—2004直线度误差检测

GB/T17421.2—2016机床检验通则第2部分:数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定

凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。

3术语和计量单位

3.1瞄准触发aimingandtriggering

传感器移动到测量方案所规定的指定位置时,发出“已瞄准”的信号,此信号启动测量仪的相关测量机构和部件开始或结束工作的过程。

3.2瞄准触发测量measurementwithaimingandtriggering应用瞄准触发原理进行的测量。

3.3微小孔microandsmallhole

微孔和小孔的统称。微孔是指直径小于1mm的孔,小孔是指直径不小于1mm且不大于20mm的孔。

3.4深径比aspectratio孔的深度和直径的比值。

3.5尺寸桥gaugebridge

由量块按U型结构研合而成的标准尺寸体。

4概述

微小孔径测量仪(以下简称测量仪)是应用瞄准触发原理进行微小孔径测量的仪器。

测量仪的典型结构如图1所示,其Z轴导轨和Y轴导轨位于工作台下方。

JJF1806—2020

2

图1测量仪结构示意图

1—基座;2—立柱;3—干涉仪支座;4—激光干涉仪;5—反射镜架;

6—X轴导轨;7—滑架;8—传感器支架;9—瞄准触发传感器;10—工作台

常用的瞄准触发传感器(以下简称传感器)有光纤传感器和电容传感器。微孔测量推荐采用光纤传感器;小孔测量推荐采用电容传感器等非接触式传感器。

光纤传感器和电容传感器推荐适用范围见表1。

表1传感器推荐适用范围

传感器类型

适用对象

测量范围/mm

深径比

最大深度/mm

光纤传感器

微孔

0.1≤D1

不大于9∶1

3

电容传感器

小孔

1≤D≤20

不大于13∶1

150

工作时,首先调整被测孔轴线与测量仪Z轴平行,然后移动Y轴,将传感器测头定位到被测孔直径测量线上。测量时,沿X轴移动测头到被测孔的一个端点,传感器在该位置发出瞄准触发信号,激光干涉仪清零;然后将测头移动到被测孔的另一个端点,传感器在此位置再次发出瞄准触发信号,激光干涉仪计数,则被测孔的直径为:

D=L+d(1)

式中:

D———被测孔直径;

L———激光干涉仪读数的绝对值;d———传感器测头的等效直径。

5计量特性

5.1X、Z轴运动的直线度

X、Z轴运动的直线度要求见表2。5.2X、Z轴运动的定位精度

X、Z轴运动的定位精度要求见表2。5.3Y轴运动的最小有效位移

Y轴运动的最小有效位移要求见表2。

3

表2测量仪各运动轴计量特性要求

计量特性

技术要求

X轴运动

直线度

不大于0.2μm/40mm

定位精度

不大于0.1μm

Z轴运动

直线度

不大于3.0μm/150mm

定位精度

不大于4.0μm

Y轴运动的最小有效位移

不大于0.3μm

5.4重复性

测量仪的重复性要求见表3。5.5示值误差

测量仪的最大允许误差见表3。

表3测量仪重复性与示值误差计量特性要求

计量特性

技术要求

重复性

不大于0.2μm

最大允许误差

±0.8μm

5.6激光干涉仪

激光干涉仪的检定按照JJG739—2005执行。

注:校准工作不判断合格与否,上述计量特性的指标仅提供参考。

6校准条件

6.1环境条件