（高清版）B/T 43976-2024 电子气体 四氟甲烷.pdfVIP

ICS71.100.20

CCSG86

中华人民共和国国家标准

GB/T43976—2024

电子气体四氟甲烷

Electronicgas—Tetrafluoromethane

2024-04-25发布2024-11-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

GB/T43976—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。

本文件起草单位：浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司、杭氧集团股份有限公司、中船

(邯郸)派瑞特种气体有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、浙江巨化技术中

心有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、江西华特电子化学品有限公司、福建久策气体股份有限公司、

江苏雅克科技股份有限公司、上海伟创标准气体分析技术有限公司、金宏气体股份有限公司、浙江海纳

半导体股份有限公司、杭州德成科技服务有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、杭州市消费者权益

保护委员会秘书处(杭州国家电子商务产品质量监测处置中心)、浙江解氏新材料股份有限公司、宿州伊

维特新材料有限公司、浙江省标准化研究院、中国计量大学、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱

分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、

沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞

达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、

西南化工研究设计院有限公司双流分公司。

本文件主要起草人：史婉君、王娟、张琦炎、罗霞、胡迎、付梦月、李企真、朱晓平、王占卫、袁瑞玲、

傅铸红、陈艳珊、马建修、陈程、褚人财、李霞、何西、禹金龙、曹素英、何经余、沈琦、郭华轩、王新喜、孙猛、

沈益军、潘金平、洪倩、石林、吕博文、万娟秀、朱明、谈益强、刘亮、张朋越、陈洁、吴靓、方华、郑新蕊、

何波、黄小强、黄辉、刘扬涛、宫兵、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、赵帅德、马昌宁、周鹏云、刘定川、

彭诚。

I

GB/T43976—2024

电子气体四氟甲烷

1范围

本文件规定了电子级四氟甲烷的技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求，描

述了相关的试验方法。

本文件适用于由工业四氟甲烷提纯制备的四氟甲烷。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于

本文件。

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GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法

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