单刻线样板检定装置作业指导书.docVIP

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作业指导书

单刻线样板检定装置

文件编号

版本号

第1版

页数

共2页

概述

干涉显微镜由干涉和显微系统组成，利用光波干涉原理来测量表面粗糙度参数。它是以范围为（530-600）nm的光波波长为标尺，将被测表面与标准光学镜面相比较，再经显微系统高倍放大后，来观察和测量被测表面的微观几何形状特性。

光切显微镜以光切法测量原理测量表面粗糙度的轮廓峰高和谷深。2主要技术指标

2.1测量范围：（0.08~46）μm。

2.2最大允许误差：光切显微镜:MPE:±5%；干涉显微镜:MPE:±5%

3使用环境条件

3.1环境温度：(20±5）℃

3.2环境湿度：≤70%RH

4使用操作程序

4.1检查标准及配套设备是否在检定/校准证书有效期。

4.2检定前，检查标准仪器设备是否处于良好的技术状态。

4.3将测微目镜从仪器上取下，旋去它的目镜头，然后安装在万能工具显微镜的工作台上，高速万能工具显微镜使测微目镜毫米刻度尺清晰的成像在万能工具显微镜的米字线分划上，并使测微目镜十字线分划板的十字线交点运动方向与万能工具显微镜纵向导轨行程平行。转动测微目镜的测微鼓轮对准起始零位。移动万能工具显微镜的纵向滑板使万能工具显微镜测角目镜的米字线交点对准测微目镜的十字线分划板的十字线交点，同时使指标线对准万能工具显微镜的米字线中心刻线，读取万能工具显微镜的纵向读数得零位读数，然后依次转动测目镜鼓轮，并依次地在万能工具显微镜上得读数。

4.4将量块置于仪器工作台上，调整仪器使视场干涉条纹与被测表面的像同时清晰，切断干涉光路，对准量块进行调焦，直至视场内出现量块表面的清晰像，然后打开干涉光路，应能在视场中部出现清晰的干涉条纹。用测微目镜十字线分划板的十字线对准处于水平位置的任一干涉条纹的中部，记下测微鼓轮的读数，然后转动测微鼓轮，使十字线与视场两边沿的同一条干涉条纹对准，记下读数，再用十字线对准相邻干涉条纹的中部，记下读数。

4.5测量时，至少选用两块样板，一块刻线深度在（0.05-0.20）um范围之内；另一块刻线深度在（0.20-1.00）um范围之内。将单刻线样板置于仪器工作台上，并对其进行调焦，直至在目镜视场中得到清晰的像。移动仪器工作台，使样板的主刻线两侧边缘标有两个压痕的部位牌目镜视场中央，打开仪器干涉光路，选用白光，调整焦距及干涉条纹的方向、宽度，使黑色干涉条纹垂直于样板的主刻线并通过两压痕。改用单色光，使用测微目镜，依次测得数值。

5维护保养

5.1检测室指定专人使用、维护本仪器。

5.2本仪器如果较长时期不用，维护人员应每周至少作一次维护保养。

5.3认真填写仪器设备使用、保养记录，确保其功能正常。每周做一次维护并记录。

6期间核查

每一年进行一次期间核查，并作好核查记录。

核查方法

6.2.1引用JJG77-2006《干涉显微镜检定规程》、JJF1092-2002《光切显微镜校准规范》检定/校准方法和步骤。

6.2.2数据分析:将所测数据与上次同一仪器的检测数据进行比较，以判定检定/校准装置的性能变化量。

6.2.3如果测试的数据已不符合本装置的技术要求，应立刻停止使用检定/校准装置，查明原因，记录备案。

6.3运行检测工作完成后，清理工作现场，填写《期间核查记录》表。

起草：

审核：

批准：

执行日期：