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第十四章扫描电子显微电镜

扫描电子显微镜利用细聚焦电子束在样品外表逐点扫描，与样品相互作用产行各种物理信号，这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号，最终在荧光屏上显示反映样品外表各种特征的图像。扫描电镜具有景深大、图像立体感强、放大倍数范围大、连续可调、区分率高、样品室空间大且样品制备简洁等特点，是进展样品外表争论的有效分析工具。扫描电镜所需的加速电压比透射电镜要低得多，一般约在1～50kV，试验时可依据被分析样品的性质适当地选择，最常用的加速电压约在20kV左右。扫描电镜的图像放大倍数在肯定范围内(几十倍到几十万倍)可以实现连续调整，放大倍数等于荧光屏上显示的图像横向长度与电子束在样品上横向扫描的实际长度之比。扫描电镜的电子光学系统与透射电镜有所不同，其作用仅仅是为了供给扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。扫描电镜最常使用的是二次电子信号和背散射电子信号，前者用于显示外表形貌衬度，后者用于显示原子序数衬度。

第一节扫描电镜的样品制备

扫描电镜观看常见样品有断口样品、块状样品和粉末样品，分别如以下图所示。

断口样品块状样品

粉末样品

对于断口样品可以就颖的断口直接进展扫描电镜的观看，粉末样品可以直接将粉末撒在导电胶上进展样品的观看。块状样品则需要经过切割、研磨、抛光、腐蚀等步骤进展样品的制备。对于导电材料来说，除要求尺寸不得超过仪器规定的范围外，需用导电胶把它粘贴在铜或铝制的样品座上，即可放到SEM中进展观看。对于导电性较差或者绝缘的样品来说，由于在电子束作用下会产生电荷积存，影响入射电子束斑外形和样品放射的二次电子运动轨迹，使图像质量下降。这类样品一般需要进展喷镀导电层处理。通常使用二次电子放射系数较高的金或碳真空蒸发膜等做导电层。

其次节电子束与样品的相互作用

当高能电子束轰击样品外表时，由于入射电子束与样品间的相互作用，99％以上的入射电子能量将转变成热能，其余约1％的入射电子能量，将从样品中激发出各种有用的信息，它们包括：二次电子、背散射电子、透射电子、特征X射线、俄歇电子等信号。

二次电子是指被入射电子轰击出来并离开样品外表的核外电子，它来自于距样品外表5～10nm深度范围，能量为0～50eV。二次电子对样品外表形貌格外敏感，产额与原子序数之间没有明显的依靠关系，因此最适用于外表形貌分析。

背散射电子是指被固体样品原子反弹回来的一局部入射电子，它来自样品表层几百纳米的深度范围，其能量很高，弹性背散射电子能量近似于入射电子能量。背散射电子产额随原子序数的增加而增加，不仅能用作形貌分析，也可用来显示原子序数衬度，定性地用作成份分析。

特征X射线是样品中原子受入射电子激发后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射，即特征X射线，其放射深度可达几个微米范围。特征X射线可用于微区元素分析。

扫描电镜中不同信号及产生信息

信号

二次电子

透射电子

背散射电子

试样吸取电子

特征X射线6．阴极荧光7．俄歇电子

信息

高区分率下的外表形貌

电位衬度

磁畴显示透射像

低区分率下的外表形貌

原子序数衬度

晶体取向衬度

通道把戏〔确定晶体取向〕

外表形貌

原子序数衬度

晶体取向衬度

通道把戏〔确定晶体取向〕

任何部位元素的分析及元素分体图外表及透射模式的荧光图象

轻元素分析及元素分析图

第三节扫描电镜的构造与原理

在构造上扫描电镜主要包括：电子光学系统、信号收集处理、图像显示记录系统、真空系统等。

SEM的工作原理是利用细聚焦电子束在样品外表逐点扫描，与样品相互作用产行各种物理信号，这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号，最终在荧光屏上显示反映样品外表各种特征的图像。

在扫描电镜中，电子枪放射出来的电子束，经三个电磁透镜聚焦后，成直径为几个纳米的电子束。末级透镜上部的扫描线圈能使电子束在试样外表上做光栅状扫描。试样在电子束作用下，激发出各种信号，信号的强度取决于试样外表的形貌、受激区域的成分和晶体取向。设在试样四周的探测器把激发出的电子信号承受下来，经信号处理放大系统后，输送到显像管栅极以调制显像管的亮度。由于显像管中的电子束和镜筒中的电子束是同步扫描的，显像管上各点的亮度是由试样上各点激发出的电子信号强度来调制的，即由试样外表上任一点所收集来的信号强度与显像管屏上相应点亮度之间是一一对应的。因此，试样各点状态不同，显像管各点相应的亮度也必不同，由此得到的像肯定是试样状态的反映。

从以上的SEM原理我们可以知道，它与TEM的主要区分：

在SEM中电子束并不像TEM中一样是静态的：在扫描线圈产生的电磁场的作用下，细聚焦电子束在样品外表扫描。

由于不需要穿过样品，SEM的加速电压远比TEM低；在SEM中加速电压一般

在