激光干涉测量.doc

激光干预测量

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摘要：干预测量技术是以光波干预原理为根底进行测量的一门技术。 20世纪60年代以来，由于激光的出现、隔振条件的改善及电 子与计算机技术的成熟，使干预测量技术得到长足开展。本文

介绍了激光干预的根本原理。

关键词：激光干预测量双频激光干预仪

由于科学技术的进步，干预测量技术已经得到相当广泛的应用。一方面因为微电子、微机械、微光学和现代工业提出了愈来愈高的精度和更大的量程，其它方法难以胜任；另一方面因为当代干预测量技术本身具有灵敏度高、量程大、可以适应恶劣环境、光波和米定义联系而容易溯源等特点，因而在现代工业中应用非常广泛。

激光的出现在世界计量史上具有重大的意义。用稳频的氦氖激光器作为光源，由于它的相干长度很大，干预仪的测量范围可以大大的扩展；而且由于它的光束发散角小，能量集中，因而它产生的干预条纹可以用光电接收器接收，变为电讯号，并由计数器一个不漏的记录下来，从而提高了测量速度和测量精度，比方说我国自行设计与制造的以氦氖激光器作为光源的光电光波比长仪，可以在20分钟之内把1米线纹尺上1001条刻线依次自动鉴定完毕，精度到达±0.2μm，这就是激光干预仪的成功例证。

一、激光干预仪的介绍

激光干预仪，以激光波长为长度，利用迈克耳逊干预系统测量位移的通用长度测量，有单频的和双频的两种。

1、单频激光干预仪

从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干预条纹。当可动反射镜移动时，干预条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为激光波长(N为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干预仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。

2、双频激光干预仪

双频激光干预仪是在单频激光干预仪的根底上开展的一种外差式干预仪，，双频激光干预仪可以在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等，也可以在普通车间内为大型机床的刻度进行标定，既可以对几十米的大量程进行精密测量，也可以对手表零件等微小运动进行精密测量，既可以对几何量如长度、角度．直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量，也可以用于特殊场合，诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。

单频的激光仪最根本弱点就是受环境影响严重，在测试环境恶劣，测量距离较长时，这一缺点十分突出。这是因为单频激光仪是一种直流测量系统，必然具有直流光平和电平零漂的弊端。激光干预仪可动反光镜移动时，光电接收器会输出信号，如果信号超过了计数器的触发电平那么就会被记录下来，而如果激光束强度发生变化，就有可能使光电信号低于计数器的触发电平而使计数器停止计数，使激光器强度或干预信号强度变化的主要原因是空气湍流，机床油雾，切削屑对光束的影响，结果光束发生偏移或波面扭曲。这种无规那么的变化较难通过触发电平的自动调整来补偿，因而限制了单频干预仪的应用范围。

双频激光干预仪克服了这一弱点，它是在单频激光干预仪的根底上开展的一种外差式干预仪。和单频激光干预仪一样，双频激光干预仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器，所不同者，一方面是当可动棱镜不动时，前者的干预信号是介于最亮和最暗之间的某个直流光平，而后者的干预信号是一个频率约为1.5MHz的交流信号；另一方面，当可动棱镜移动时，前者的干预信号是在最亮和最暗之间缓慢变化的信号，而后者的干预信号是使原有的交流信号频率增加或减少了△f，结果依然是一个交流信号。因而对于双频激光干预仪来说，可用放大倍数较大的交流放大器对干预信号进行放大，这样，即使光强衰减90%，依然可以得到适宜的电信号。由于这一特点，双频激光干预仪可以在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等，也可以在普通车间内为大型机床的刻度进行标定，既可以对几十米的大量程进行精密测量，也可以对手表零件等微小运动进行精密测量，既可以对几何量如长度、角度．直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量，也可以用于特殊场合，诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。

二、干预仪的应用

原理介绍

双频激光干预仪其双频激光测量系统由氦氖双频遥置激光干预仪和电子实时分解系统所组成。它具有以下优点：稳定性好，抗干扰能力强，可在较快的位移速度下测量较大的距离，使用范围广，使用方便，测量精度高。

根本原理：激光双频干预仪的氦氖激光管，在外加直流轴向磁场的作用下，产生塞曼效应，将激光分成频率为f1和f2