课件：第五章感光性高分子.pptVIP

第五章感光性高分子;其中开发比较成熟并有实用价值的感光性高分

子材料主要是指光致抗蚀材料和光致诱蚀材料，产

品包括光刻胶、光固化粘合剂、感光油墨、感光涂

料等。

;第五章感光性高分子;作为感光性高分子材料，应具有一些基本的性

能，如对光的敏感性、成像性、显影性、膜的物理

化学性能等。但对不同的用途，要求并不相同。如

作为电子材料及印刷制版材料，对感光高分子的成

像特性要求特别严格；而对粘合剂、油墨和涂料来

说，感光固化速度和涂膜性能等则显得更为重要。;光刻胶是微电子技术中细微图形加工的关键材

料之一。特别是近年来大规模和超大规模集成电路

的发展，更是大大促进了光刻胶的研究和应用。

印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954

年首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸酯就是首先用于

印刷技术，以后???用于电子工业的。与传统的制版

工业相比，用光刻胶制版，具有速度快、重量轻、

图案清晰等优点。尤其是与计算机配合后，更使印

刷工业向自动化、高速化方向发展。;感光性粘合剂、油墨、涂料是近年来发展较快

的精细化工产品。与普通粘合剂、油墨和涂料等相

比，前者具有固化速度快、涂膜强度高、不易剥

落、印迹清晰等特点，适合于大规模快速生产。尤

其对用其他方法难以操作的场合，感光性粘合剂、

油墨和涂料更有其独特的优点。例如牙齿修补粘合

剂，用光固化方法操作，既安全又卫生，而且快速

便捷，深受患者与医务工作者欢迎。;感光性高分子作为功能高分子材料的一个重要

分支，自从1954年由美国柯达公司的Minsk等人开

发的聚乙烯醇肉桂酸酯成功应用于印刷制版以后，

在理论研究和推广应用方面都取得了很大的进展，

应用领域已从电子、印刷、精细化工等领域扩大到

塑料、纤维、医疗、生化和农业等方面，发展之势

方兴未艾。;（1）根据光反应的类型分类

光交联型，光聚合型，光氧化还原型，光二

聚型，光分解型等。

（2）根据感光基团的种类分类

重氮型，叠氮型，肉桂酰型，丙烯酸酯型等。

（3）根据物理变化分类

光致不溶型，光致溶化型，光降解型，光导

电型，光致变色型等。;（4）根据骨架聚合物种类分类

PVA系，聚酯系，尼龙系，丙烯酸酯系，环氧

系，氨基甲酸酯（聚氨酯）系等。

（5）根据聚合物的形态和组成分类

感光性化合物（增感剂）+高分子型，带感光

基团的聚合物型，光聚合型等。

图6—1表明了上述分类间的相互关系。

;第五章感光性高分子;3.2重要的感光性高分子

3.2.1高分子化合物＋增感剂

这类感光性高分子是由高分子化合物与增感剂

混合而成。它们的组分除了高分子化合物和增感剂

外，还包括溶剂和添加剂（如增塑剂和颜料等）。

增感剂可分为两大类：无机增感剂和有机增感

剂。代表性的无机增感剂是重铬酸盐类；有机增感

剂则主要有芳香族重氮化合物，芳香族叠氮化合物

和有机卤化物等，下面分别介绍。;（1）重铬酸盐＋亲水性高分子

重铬酸盐导致高分子化合物光固化的反应机理

尚不十分清楚。但一般认为经过两步反应进行。

首先，在供氢体（如聚乙烯醇）的存在下，六

价铬吸收光后还原成三价铬，而供氢体放出氢气生

成酮结构。;然后，三价铬与具有酮结构的PVA配位形成交联固化结构，完成第二阶段反应。;在重铬酸盐水溶液中，Cr[VI]能以重铬酸离子

(Cr2O2＝)、酸性铬酸离子(HCrO4－)以及铬酸离子

(CrO4＝)等形式存在。其中只有HCrO4－是光致活

化的。它吸收250nm，350nm和440nm附近的光而

激发。因此，使用的高分子化合物必须是供氢体，

否则不可能形成HCrO4－。;当pH＞8时，HCrO4－不存在，则体系不会发

生光化学反应。利用这一特性，在配制感光液时，

加入氨水使之成碱性，可长期保存，不会反应。成

膜时，氨挥发而使体系变为酸性，光化学反应能正

常进行。;第五章感光性高分子;上述反应中，（I）是光分解反应，而（II）

是热分解反应。两者的比例取决于取代基的效应。

取代基的吸电子能力越大，则（I）越容易发生。

但从感光高分子的实用角度看，无论反应（I）还

是反应（II）均可引起光固化作用，因此，并不需

要加以区别。;例如下面是一种已实用的芳香族重氮化合物：

双重氮盐十聚乙烯醇感光树脂

这种感光树脂在光照射下其重氮盐分解成自由

基，分解出的自由基残基从聚乙烯醇上的羟基夺氢

形成聚乙烯醇自由基。最后自由