透射电镜系统解析及日常维护.ppt

透射电镜系统解析

及日常维护;第一篇.透射电镜系统解析;系统解析分类;第一，真空系统;1.机械泵解析;旋转机械泵剖面图;2.扩散泵解析;3.离子泵(溅射离子泵)解析;离子泵的氩不稳定性：溅射离子泵在排除氩等惰性气体原子时，真空系统内的压强会脉冲式上升，然后下降。

离子泵的寿命：由于离子轰击钛阴极板并且不断溅射，理论上钛板被溅射完毕时泵的寿命才算终结。但事实上因钛阴极溅射主要出现在对着阳极筒的中心区域，长期使用会出现这个区域穿孔，寿命就已完结。

离子泵烘烤：由于泵体暴露于大气及吸附大量的水汽，或长期使用后使泵体吸附气体分子增多影响泵的启动及抽速和极限压强。烘烤使泵体上易脱附的气体分子脱附〔烘烤时通常把离子泵与前级泵相连，抽走脱附的气体分子〕，这样使得离子泵恢复青春。;4.抽真空时序解析;开机V17关闭30秒后V13翻开系统进入20分钟DP电炉加热到预定温度以及预抽RT(P5)的状态。

20分钟后系统进入自动抽真空，当P1,P2,P3,P4值从250到170为RP预抽，进入170为DP预抽。

当PEG为5X10-3Pa时SIP启动。

当P1,P2,P3,P4值低于35时，说明系统进入READY状态〔高真空时PIRANI值设为25〕;JEM-2100真空图;5.真空规解析;PENING规〔潘宁规〕：

1).根据潘宁放电(加上正交电磁场的磁约束放电)现象来检测真空的规计。

2).潘宁放电现象：在正交电磁场下气体分子电离产生的离子质量远大于电子，故不受磁场的约束到达阴极消失且不引起空间电荷。放电电子受磁场的约束在阳极附近相当长的时间，在与气体分子不断碰撞并产生离子。

3).故潘宁规通过测定放电电流来计算真空的。;第二.高压系统;1.高压READY条件;2.灯丝READY条件;3.BEAMCURRENT解析;3.偏压BIAS解析;第三.电子光学系统;1.LENS系统;2.偏转(Deflection)系统;第四.特殊功能应用;1.UFC功能应用;第一步：进入UFC模式;第二步.进行合轴数据存储;4〕2100系列的UFC功能使用比较简单。

翻开Maintenance菜单下的Aligment对话框〔如以下图〕，进入SavetoAlignmentFile…便可进行合轴数据存储。〔LoadAlignmentFlie… 调出合轴数据〕

存储的数目决定与硬盘的大小。;2.ACD功能应用;ACD键的使用〔手动ACD法〕

1〕由于ACD键ON时，离子泵OFF，真空系统进入DP泵抽镜筒状态且扩散泵抽大分子的能力比离子泵强，所以我们利用这个原理来控制离子泵的启动。

2〕应用此功能时，ACDTANK中不能有液氮且不插ACD加热器。ACD键靠手动来控制〔按一下ON,再长时间按住并使其指示灯熄灭为OFF〕

3〕此功能主要应用在：

⑴长时间停机后，最好按下ACD键让DP泵充分的抽镜筒和离子泵，建议ACD保持时间为1天。

⑵BAKEOUT时也可用此功能来固定住DP抽镜筒和离子泵的状态。

;JEM-2021/3010ACD按键;JEM-2100系列ACD按键;3.HTCondition应用;HTCondition使用技巧：〔对于非场发射电镜〕

1〕在正常情况下，把高压升到最大值，稳定一会儿，然后把高压往下降HTCondition的值〔对于200KV电镜降到180KV，300KV电镜降到270KV〕

2〕把手动升高压的步长设定为1KV〔2021输入HTS1，2100选择高压对话框〕

3〕用手动升高压，把高压每上升1KV，不停地点触HTCondition键〔似加似不加〕，且不断延长点触时间。直到按住HTCondition键暗电流没有异常。

4〕大家通过等比关系计算出每加1KV暗电流上升的值，加高压的过程中注意暗电流的变化〔反响出高压放电的情况〕

5〕为了平安建议大家升到最大值时，不要长时间按住HTCondition键，或者只上升HTCondition值的一半〔200KV电镜上升10KV,300KV电镜上升15KV〕;对于非场发射电镜，我们根本上在高压不稳定时才使用此功能，其它时候禁用。

对于场发射电镜，在DCCONDITION模式下才能使用此功能，且是必须使用。DCCONDITION模式在EMISSION关掉1天以上时使用，主要是为了保护Emitter。;JEM-2100HTCondition按键，其中Hold为Condition状态保持，请不要打勾。;4.INIT应用;JEM-2100系列中心点校正;进入Gon