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阳光电池制造工艺流程包括硅片装盒漂洗干燥磷扩散形成pn结等离子体边缘腐蚀腐蚀表面磷硅玻璃硅片烘干PECVD沉积SiN以及丝网印刷和烧结等步骤每个环节都需要经过严格的测试和验证才能确保其可靠性
太阳电池制造
工艺流程、工艺原理及工艺卫生
太阳电池制造过程(流程图)
硅片装盒去除硅片损伤层和形成绒面漂洗
甩干磷扩散形成p-n结*等离子体边缘腐蚀
腐蚀表面磷硅玻璃甩干PECVD沉积SiN*
印刷背面电极烘干印刷铝背场
烘干印刷正面电极烧结测试包装
带有*的为关键工艺，需对结果进行测量，必须满足设计值。
太阳电池制造过程(一)
■硅片装盒
硅片腐蚀去除硅片损伤层(和形成绒面)
■漂洗干燥
太阳电池制造过程(二)
■磷扩散形成p-n结
■等离子体边缘腐蚀
■腐蚀表面磷硅玻璃
■硅片烘干
太阳电池制造过程(三)
PECVD沉积SiN
利用硅烷(SiH?)与氨气(NH?)在等离子体中反应。
SiH?+NH?→SiNH+3H?
2SiH?+N?→2SiNH+3H?
太阳电池制造过程(四)
丝网印刷和烧结
太阳电池制造过程(五)
分类检测
包装入库
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