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第8章光学微腔:? 结构设计与应用集成光电子器件及设计
2Microring?resonators:?structures??designs Structure Coupling?region Directional?coupler:?straight??bent?DC Vertical?coupler? MMI?coupler? MZI?coupler MRR?coupler? Bending?section:?corner?bending??arc?bending Cascaded?structures? Performances High?Q‐factor Large?FSR?(ultra‐small?bending?radius) Large?tunable??wavelength?range?? Suspended?cavity
Structure 2x2?coupler+?feedback:? 2x2?coupler: Directional? coupler? MMI?coupler? MZI?couplerFeedbackMRR?coupler Arc?bending? Race‐track Corner?bending 3
4With?directional?couplersEnhance?the?coupling?ratio.?
5With?directional?couplersThe?small?gap?is?not?easy?to?fabricate.
6With?directional?couplersEnhance?the?coupling?ratio.?
7From?JJ?Hu(MIT).?With?bent?directional?couplers Compact?footprint Low?loss:?w/o?transition?loss
8With?vertical?couplerEasy?control?for?the?coupling?ratio;?Avoid?any?crossing?for?a?microring?array;?But?need?more?fabrication?processes;?
9With?MMI?couplers2x2?MMI?couplers:Easy?fabrication.
150μm10InputdropThroughaddWith?MMI?couplersTaperedMMI?couplers: Easy?fabrication. OUT#1 OUT#2 IN#1 TaperedMMI IN#2
OutputPower(dBm)OutputPower(dBm)NormalizationPowerNormalizationPowerOutputPower(dBm)OutputPower(dBm)-400.00.81.0012345Angle(°)Port#2_1530nmPort#1_1530nmPort#2_1535nmPort#1_1535nm0.00.81.003451530nm1535nmWith?MMI?couplers 0 -5 -10 -15 -20 -25 -30 -35153015311532153315341535Wavelength(nm)AngledMMI?couplers:Varying?the?coupling?ratio -10 -15 -20 -25 -30 -35 -40153015311532153315341535Wavelength(nm)12 Angle(°) -45-15-20-25-30-35153015311532153315341535Wavelength(nm)-27.5-32.5 -7.5-12.5-17.5-22.5153015311532153315341535Wavelength(nm)
feedbackline12With?MZI?couplersMZI?couplers:Large?quasi‐FSRwDCwco11’22’LTPLTPLDCG 3’ 3R~2μm 4’ 42μm(a)
Transmission(dB) 0 -5-10-15-20-25-30152015401600162013 15601580Wavelength(nm)(c)
Coupling?Coefficient?k?Tthru?(dB)?Tdrop?(a
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