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基于特征金字塔融合和注意力机制的晶圆图识别分类研究.pdf

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本文介绍了基于特征金字塔融合和注意力机制的晶圆图识别分类研究作者提出一种基于特征金字塔融合的卷积神经网络,用于对晶圆图缺陷模式进行识别和分类实验结果显示,该方法可以有效地提高模型的分类效果

摘要

摘要

晶圆制造是半导体制造过程的一个重要环节,晶圆制造过程中的工艺问题会造成

晶圆缺陷的产生,进而影响到晶圆的生产良率。晶圆缺陷分布可以通过晶圆图来描述,

对晶圆图缺陷模式进行分析可以定位缺陷产生的根本原因,从而为工程师提供有用的

信息,有助于提高晶圆的生产良率。然而,由于晶圆缺陷存在角度多样性、缺陷类型

数量分布不均衡等问题,现有晶圆缺陷模式识别分类算法的准确率需要进一步提升。

因此,本文提出了基于特征金字塔融合和注意

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