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外延尾气处理机工作原理外延尾气处理机工作原理
1#化学
一．工作原理图：药品泵
厂务排风
1#2#
反反
应B应2#化学
室室药品泵
真
空
腔
3#化学
药品泵
MOCVDCCC
及气柜排
出的尾气加
流向图水
A阀
CDDD
排
水
DD
二．原理说明喷淋泵阀
1.处理方式：
外延尾气处理机的工作方式是湿法化学反应法。图中红色箭头为含氢、砷、硅和磷
等化学元素的废气，通过管道输送进尾气处理机，处理后将符合要求的气体排入大气，
将反应后生成的废水（含氢、砷、硅和磷等化学元素）排到厂务污水处理站进行处理。
2.气体流向：
图中红色箭头为含氢、砷、硅和磷等化学元素的废气，经过1#、2#反应室，反应室
上方的喷嘴喷出化学药剂与尾气反应。尾气经过反应后，箭头颜色由红变紫、由紫变粉、
由粉变白，表示尾气成分由有害逐渐变为无害气体，最终排入大气中。
3.液体流向：
图中黑色箭头为设备液体流向示意，液体大约分四类：A.清水清水由加水阀供给，水
质为普通市政用水，用做调配反应试剂的液基。B.三种化学药品三种化学药品（液态）,通过剂量泵将
三种不同的化学药品按照酸碱性和氧化性注入清水中，调成与外延尾气反应的化学制剂。
C.调好的化学反应试剂，其由A+BA+B调出并通过喷液泵分别压到真空腔、1#反应室、2#
反应室，将尾气带入设备并与尾气中的氢、砷、硅和磷等化学元素发生化学反应产生溶反应室，将尾气带入设备并与尾气中的氢、砷、硅和磷等化学元素发生化学反应产生溶
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