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２０２４年４月机床与液压Ａｐｒ．２０２４
第５２卷第７期ＭＡＣＨＩＮＥＴＯＯＬ＆ＨＹＤＲＡＵＬＩＣＳＶｏｌ５２Ｎｏ７
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ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊｉｓｓｎ１００１３８８１２０２４０７０１４
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文献引用：卢震，程俊兰．曲面硅电极五轴精密磨削工艺研究［Ｊ］．机床与液压，２０２４，５２（７）：９３９７．
Ｃｉｔｅａｓ：ＬＵＺｈｅｎ，ＣＨＥＮＧＪｕｎｌａｎ．Ｒｅｓｅａｒｃｈｏｎｆｉｖｅａｘｉｓｐｒｅｃｉｓｉｏｎｇｒｉｎｄｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｆｏｒｃｕｒｖｅｄｓｉｌｉｃｏｎｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓ［Ｊ］．ＭａｃｈｉｎｅＴｏｏｌ＆
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Ｈｙｄｒａｕｌｉｃｓ，２０２４，５２（７）：９３９７．
曲面硅电极五轴精密磨削工艺研究
１２
卢震，程俊兰
（１北京精雕科技集团有限公司，北京１０２３０８；２北华航天工业学院，河北廊坊０６５０００）
摘要：近两年出现了新型刻蚀技术，将半导体刻蚀用硅电极设计成曲面结构。而曲面硅电极的精度及粗糙度要求非常
高，其生产都是在国外进行，具体工艺未知。研究出一套曲面硅电极高效、精密磨削方法。通过分析曲面硅电极零件，提
出采用五轴磨削技术进行加工的工艺方案，使用五轴编程软件进行编程，采用具备机内自动化技术和数字仿真技术的五轴
磨削中心，对曲面硅电极的磨削加工策略进行验证。结果表明：此项加工技术可提高加工效率和产品良率，并减少后续的
研磨抛光时间，降低了生产成本。
关键词：曲面硅电极；精密磨削；机内自动化；数字仿真；工艺研究
中图分类号：ＴＨ１６２；ＴＧ６５９
ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＦｉｖｅＡｘｉｓＰｒｅｃｉｓｉｏｎＧｒｉｎｄｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｆｏｒＣｕｒｖｅｄＳｉｌｉｃｏｎＥｌｅｃｔｒｏｄｅｓ
１２
ＬＵＺｈｅｎ，ＣＨＥＮＧＪｕｎｌａｎ
（１ＢｅｉｊｉｎｇＪｉｎｇｄｉａｏＧｒｏｕｐ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０２３０８，Ｃｈｉｎａ；２ＮｏｒｔｈＣｈｉｎａＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＡｅｒｏｓｐａｃｅＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，
ＬａｎｇｆａｎｇＨｅｂｅｉ０６５０００，Ｃｈｉｎａ）
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｒｅｃｅｎｔｙｅａｒｓ，ｎｅｗｅｔｃｈｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓｅｍｅｒｇｅｄ，ｃｕｒｖｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓａｒｅｄｅｓｉｇｎｅｄｏｎｓｉｌｉｃｏｎｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓｆｏｒｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ
ｅｔｃｈｉｎｇ．Ｔｈｅｐｒｅｃｉｓｉｏｎａｎｄｒｏｕｇｈｎｅｓｓｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓｏｆｃｕｒｖｅｄｓｉｌｉｃｏｎｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓａｒｅｖｅｒｙｈｉｇｈ，ｔｈｅｙｗｅｒｅｐｒｏｄｕｃｅｄａｂｒｏａｄｐｒｅｖｉｏｕｓｌｙ，ａｎｄ
ｔｈｅｓｐｅｃｉｆｉｃｐｒｏｃｅｓｓｉｓｕｎｋｎｏｗｎ．Ａｎｅｆｆｉｃｉｅｎｔａｎｄｐｒｅｃｉｓｅｇｒｉｎｄｉｎｇｍｅｔｈｏｄｗａｓｄｅｖｅｌｏｐｅｄｆｏｒｃｕｒｖｅｄｓｉｌｉｃｏｎｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓ．Ｔｈｒｏｕｇｈｔｈｅａｎａｌｙ⁃
ｓｉｓｏｆｃｕｒｖｅｄｓｉｌｉｃｏｎｅｌｅｃｔｒｏｄｅｐａｒｔｓ，ａｐｒｏｃｅｓｓｓｃｈｅｍｅｏｆｕｓｉｎｇｆｉｖｅａｘｉｓｇｒｉｎｄｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｆｏｒｍａｃｈｉｎｉｎｇｗ
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