氧化锆纳米薄膜的激光诱导击穿光谱(LIBS)分析技术研究.pdf

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35,5Vol.35,No.5,1376-1382

pp

20155SpectroscopyandSpectralAnalysisMay,2015

(LIBS)

1,31,3*21,31,31,3

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(laserinducedbreakdownspectrosco-

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[1][5]

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[13]

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[14]

(AES)、(SIMS)、X。

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