中科院青岛能源所蒸发镀膜系统设备招标文件.doc

中科院青岛能源所蒸发镀膜系统设备招标文件

（单位内部招标）

一、说明

1、本部分内容是根据招标项目的实际情况制定的。

2、投标人必须仔细阅读本招标文件的全部条文。对于招标文件中存在的任何含糊、遗漏、相互矛盾之处，或是对于招标范围的界定和招标内容的要求不清楚，认为存在歧视、限制的情况，投标人应向招标人寻求书面澄清。

3、本技术部分如果涉及到品牌、型号等，并不表明该标的被指定，而是仅供投标人参考，投标人所投报的货物只要性能、质量达到或超过都将被视为对招标文件作出了实质性的响应。

4．招标完毕，招标人根据需要可能进行货物内容的增加或减少，或者分批签定合同，但合同总额浮动范围不超过投标额的（+/-）10%。

5、招标方将采用综合打分法进行评标。评审因素包括：评标价格、产品质量性能、企业资质和产品销售业绩、售后服务及交货时间。

其中价格分统一采用低价优先法计算，即满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，其价格分为满分。其他投标人的价格分统一按照下列公式计算：投标报价得分=（评标基准价/投标报价）x30；

6、投标人应提供投标产品的详细技术资料，和企业简介、资质和荣誉等材料等。

7、招标程序：

1）投标方提交投标文件（密封，正本一套；副本四套）

2）所内专家评标

3）根据招标结果向中标人发送中标通知书

8、招标方认定招标过程存在恶意围标或其他影响招标顺利进行的行为时有权废标重招。

9、具体打分标准

注：＃表示重要指标

投标人

制造商

招标文件要求

分值

得分

一、技术性能

满分40分

品质优良（技术指标完全满足招标文件的要求，各种技术参数、性能及服务质量优于招标文件要求）

36-40分

品质良好（技术指标满足采购文件的要求，各种技术参数、性能及服务质量与招标文件要求基本一致）

29-35分

基本合格（技术指标基本满足招标文件要求，部分技术参数有细微偏差）

24-28分

技术指标主要参数不能满足招标文件要求，不合格

0分

二、加分部分

满分15分

1、对于已通过ISO9000认证的产品，对此投标人应提供相应成名文件复印件

0-1分

2、是否提供所有产品的原厂服务，并有原厂的书面承诺

0-2分

3、除以上基本指标外，具有特殊功能（须在投标文件中详细介绍），并经买方确认满足实际需求的每项加1分，最多4分

0-4分

4、买方确认关键性指标或配置优于标准项目，每项可加1分，最多4分

0-4分

5、设备技术水平、工程应用情况

0-2分

6、针对甲方工艺要求，详细提出技术方案

0-2分

三、企业资质和产品销售业绩、售后服务及交货时间

满分15分

符合招标文件要求，核心元件质保1年（提供备件附清单）（增加1年，加2分，4分满分）

0-4分

交货验收时间（90天内），少于60天2分

0-2分

售后服务方案

0-4分

企业综合情况

0-5分

五、价格分

30分

总计

满分100分

二、技术要求

货物名称、数量及要求：

货物名称：真空蒸发镀膜系统货物数量：1套

设备描述：真空蒸发镀膜系统工作室需置于Glovebox无水、无氧、无尘的超纯环境中，其在较高真空下进行镀膜。适用于实验室制备钙钛矿太阳能电池膜薄，可用于科研实验。

2.1技术指标

1.热蒸发沉积室：

真空室实际尺寸可以根据自己公司给具体方案，上面开有连接蒸发源、分子泵、真空规、照明、石英晶体探头,样品台法兰接口、前滑开门及后开门等。

2.样品沉积升降转台机构：

需要配置：a不锈钢蒸发基片托；

b样品台可水冷；

#c样品台可以被驱动旋转，转速连续可调；

#d配置样品挡板和一套掩膜板5组。

3.蒸发源：

配备四套蒸发源。

4.热蒸发电极组件：

配置蒸发水冷电极、蒸发舟、蒸发电源、挡板组件；

蒸发源之间具有可拆卸挡板。

5.（排气）真空系统及真空测量：

要求配置：a分子泵及控制电源；b机械泵；c超高真空闸板阀；d金属软连接前极管道。

6.真空测量及电控系统：

要求配置：a真空计；b电阻规；c电离规；d电源机柜；e电机旋转电源；f断水保护。

#7．石英晶体测厚仪：

一套石英晶体测厚仪，配置两个探头，可以通过设定膜厚，到达设定膜厚直接停止蒸发源工作。

#8.技术指标

极限真空度：≤6x10-5Pa；

从大气抽至：从大气抽至5x10-4Pa≤35min；

9.控制单元

a)电脑控制：真空泵和阀的开关、电源参数的设置，基片台旋转的设置等

b)系统保护：阀门关系互锁保护，分子泵保护，缺水报警保护，设备过流过压保护，急停保护；

c)数显：真空状态显示、分子泵工作状态显示、真空泵阀工作状态显示。

d）电控柜（与机架一体）：标准工业电控柜，组装真空系统控制、数显真空计、分子泵控制器等。