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Fe和C离子双注入ZnO薄膜结构和物理性质研究

的开题报告

引言

氧化锌（ZnO）是一种重要的半导体材料，由于其性质的优异性，

被广泛应用于太阳能电池、透明导电膜、紫外探测器、发光二极管（LED）

等领域。为了改善ZnO薄膜的性质，通常会将一些杂质注入ZnO晶体中，

从而形成杂质掺杂ZnO薄膜。其中，Fe和C离子是常见的两种掺杂元素，

而它们的掺杂对ZnO薄膜的结构和物理性质可能会产生显著的影响。因

此，本研究将对Fe和C离子双注入ZnO薄膜结构和物理性质进行研究。

研究内容

本研究的主要内容包括以下几个方面：

1.制备双注入ZnO薄膜样品

本研究将采用磁控溅射技术制备Fe和C离子双注入ZnO薄膜样品。

在制备过程中，会通过改变磁控溅射工艺参数来调节样品的成分。

2.分析制备的双注入ZnO薄膜的结构和形貌

本研究将通过X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）等技

术分析制备的双注入ZnO薄膜的结构和形貌。

3.研究双注入ZnO薄膜的光学性质

本研究将采用紫外可见吸收光谱（UV-Vis）技术研究双注入ZnO薄

膜的光学性质。同时，通过光致发光（PL）技术分析样品的荧光光谱。

4.测量双注入ZnO薄膜的电学性质

本研究将使用四探针电阻测试仪测量双注入ZnO薄膜的电学性质，

并分析掺杂可能对ZnO薄膜导电性和电子迁移特性的影响。

结论

本研究将通过制备Fe和C离子双注入ZnO薄膜样品，并通过XRD、

SEM、UV-Vis、PL和四探针电阻测试仪等技术对其进行分析，以研究双

注入ZnO薄膜的结构和物理性质。预计研究结果将对ZnO薄膜的应用和

引入新材料的设计提供新的思路。