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第1章绪论
1.1研究背景
在信息和科技飞速发展的时代,平板显示装置在人们的生活领域扮演着愈发重要的角色,正在以势不可挡的趋势开始占据人们的生活。为了满足快速发展的市场需求,实现可卷曲、全透明、超高清、大尺寸等新一代显示技术是时代所需,趋势所要。
氧化物TFT作为一种新兴,高潜力的材料,它主要有这几个关键组成部分:衬底、半导体层(即沟道层)、绝缘层、源/漏电极和栅极,其中每个组成部分都对氧化物TFT器件的性能起着至关重要的作用。根据这几个部分的位置的不同,研究者又把氧化物TFT的结构分为以下四种典型结构:图1-1(a)底栅层错结构,图1-1(b)底栅共面结构,图1-1(c)顶栅层错结构,
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