GEM）系列：GEM400_（10）.GEM400故障排查与调试.docx

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故障排查与调试

引言

在半导体制造设备控制系统（SECS/GEM）中，故障排查与调试是一项关键任务。系统在运行过程中可能会遇到各种问题，包括硬件故障、软件错误、通信中断等。有效的故障排查和调试不仅能够确保生产过程的顺利进行，还能减少停机时间和维护成本。本节将详细介绍SECS/GEM系统中常见的故障类型及其排查方法，并提供具体的调试技巧和示例。

故障类型

硬件故障

硬件故障通常涉及设备的物理部分，如传感器、执行器、控制单元等。常见的硬件故障包括：

传感器故障：传感器读数不准确或完全失效。

执行器故障：执行器无法正确响应控制指令。

电源故障：设备电源供应不稳