半导体制造过程控制系统（PCS）系列：光刻控制系统_13.光刻控制系统的软件架构.docx

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13.光刻控制系统的软件架构

13.1概述

在半导体制造过程中，光刻控制系统的软件架构是至关重要的。光刻是将电路图案转移到半导体晶圆上的关键步骤，控制系统的软件架构不仅决定了系统的可靠性和性能，还直接影响到生产效率和产品质量。本节将详细介绍光刻控制系统的软件架构，包括其组成部分、设计原则和实现方法。

13.2软件架构的组成部分

13.2.1数据管理层

数据管理层负责管理和存储光刻过程中的各种数据，包括设备状态、工艺参数、生产历史记录等。这些数据对于实现精确的控制和优化工艺流程非常重要。数据管理层通常包括以下几个部分：

数据库管理：使用关系型数据库