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GEM）系列：SECS-I_（5）.SECS-I消息处理机制.docx

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    SECS-I消息处理机制

    消息格式

    SECS-I（SemiconductorEquipmentCommunicationsStandardI）是半导体制造设备与主机之间通信的标准协议。SECS-I消息格式由一系列的字符组成，包括ASCII字符和控制字符。SECS-I消息的基本结构如下：

    消息头（MessageHeader）：

    消息长度（MessageLength）：4字节，表示消息的总长度（包括消息头和消息体）。

    消息类型（MessageType）：1字节，表示消息的类型，如S1F13、S2F1等。

    系统号（SystemNumber）：2

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