原创力文档- 1、本文档共27页，其中可免费阅读10页，需付费49金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
PAGE1
PAGE1
SECS-I标准与行业规范
SECS-I标准概述
SECS-I（SemiconductorEquipmentCommunicationStandardI）是半导体制造设备与主机之间通信的标准。它定义了设备与主机之间的消息格式和通信协议，确保设备与主机之间能够高效、可靠地交换数据。SECS-I标准由SEMI（SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational）制定，是GEM（GenericEquipmentModel）系列标准的一部分。
SECS-I标准的主要特点是：
消息格式：定义了消息的结
您可能关注的文档
- GEM）系列：E30_（1）.GEM系列：E30概述.docx
- GEM）系列：E30_（2）.GEM系列：E30核心技术解析.docx
- GEM）系列：E30_（3）.GEM系列：E30应用场景与案例分析.docx
- GEM）系列：E30_（4）.GEM系列：E30系统设计与架构.docx
- GEM）系列：E30_（5）.GEM系列：E30开发环境搭建与配置.docx
- GEM）系列：E30_（6）.GEM系列：E30编程基础与实践.docx
- GEM）系列：E30_（7）.GEM系列：E30数据处理与优化技术.docx
- GEM）系列：E30_（8）.GEM系列：E30性能测试与调优.docx
- GEM）系列：E30_（9）.GEM系列：E30安全机制与防护.docx
- GEM）系列：E30_（10）.GEM系列：E30维护与故障排除.docx
文档评论（0）