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基于PEALD的MCP防离子反馈膜的制备技术研究.pdf

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    摘要

    微通道板(MicrochannelPlate，MCP)是一种电子倍增器，是像增强器的核心器件。

    在第三代微光像增强器中MCP的输入面覆有一层防离子反馈膜，用于抑制正离子的

    反馈，防止损坏阴极，提高像管的寿命。传统防离子反馈膜制备技术存在膜层不均

    匀、厚度难以精确控制、引入碳污染、有机膜去除不彻底等问题。本文基于原子层

    沉积(AtomicLayerDeposition，ALD)技术的优点，提出了一种全新的无污染防离子

    反馈膜制备方法，探索制备过程中的一些关键技术。

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