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网络通信与协议
在半导体制造设备控制系统(SECS/GEM)系列中,网络通信与协议是关键组成部分,它们确保了设备与主机之间的高效、可靠的数据交换。本节将详细介绍SECS/GEM协议的基本原理、通信机制、数据格式以及如何在实际应用中实现这些协议。通过本节的学习,您将能够理解SECS/GEM协议的工作原理,并掌握如何在半导体制造设备中实现这些协议的具体步骤。
SECS/GEM协议概述
SECS/GEM协议是半导体设备与主机之间通信的标准协议。SECS(SEMIEquipmentCommunicationStandard)定义了设备与主机之间的基本通信规
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