GEM）系列：SECS-I_（6）.设备状态管理.docx

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设备状态管理

在半导体制造设备控制系统中，设备状态管理是至关重要的环节。设备状态管理涉及对设备的各种状态进行监控、记录和管理，以确保设备在正常、高效的状态下运行。本节将详细介绍设备状态管理的原理和内容，并提供具体的代码示例和数据样例。

设备状态的分类

设备状态可以分为多种类型，每种类型都有其特定的含义和用途。常见的设备状态分类包括：

正常运行状态（NormalOperation）：设备在正常工作模式下运行，所有功能正常。

维护状态（Maintenance）：设备正在进行维护或维修操作。

故障状态（Fault）：设备出现故障，无法正常运行。

待机状态（S