GEM）系列：SECS-I_（8）.安全性和数据完整性.docx

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安全性和数据完整性

在半导体制造设备控制系统中，安全性和数据完整性是至关重要的两个方面。这些系统通常涉及高价值的设备和敏感的数据，因此必须采取有效的措施来保护系统的安全性和数据的完整性。本节将详细探讨这些措施的原理和实施方法。

1.安全性概述

1.1物理安全

物理安全是指通过物理手段保护设备和数据不被未经授权的访问或损坏。在半导体制造设备控制系统中，物理安全措施包括但不限于：

访问控制：通过门禁系统、监控摄像头和安全围栏等手段，确保只有授权人员才能进入设备控制区域。

环境监控：使用环境监控系统（如温度、湿度监控）确保设备运行在安全的环境条件下。

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