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SECS-II通信协议
1.SECS-II通信协议概述
SECS-II(SemiconductorEquipmentCommunicationStandardII)通信协议是半导体制造设备与主机系统之间进行数据交换的标准协议。SECS-II协议定义了设备与主机之间的通信消息格式、消息处理机制以及通信流程。该协议旨在实现设备与主机之间的高效、可靠和标准化的数据交换,从而提高半导体生产线的自动化水平和生产效率。
SECS-II协议基于SECS-I(SemiconductorEquipmentCommunicationStandardI)协议
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