GEM）系列：SECS-I_（10）.系统集成与测试.docx

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系统集成与测试

在半导体制造设备控制系统（SECS/GEM）系列中，系统集成与测试是确保设备能够高效、准确地运行的关键步骤。本节将详细介绍系统集成的过程、测试方法以及常见问题的解决办法。我们将从以下几个方面进行探讨：

1.系统集成概述

系统集成是指将各个独立的子系统或模块组合成一个完整的系统，使其能够协同工作。在半导体制造设备控制系统中，系统集成涉及硬件和软件的整合，确保所有组件能够无缝对接，实现预期的功能和性能。

1.1系统集成的关键步骤

需求分析：明确系统集成的目标和需求，确保所有子系统的功能和性能指标符合整体要求。

设计规划：制定详细的系统集成