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SECS-II在半导体制造中的应用
SECS-II(SemiconductorEquipmentCommunicationStandardII)是半导体制造设备与主机之间通信的标准协议。它定义了设备和主机之间交换消息的格式和内容,确保了设备与主机之间的高效、可靠和标准化的通信。SECS-II在半导体制造中的应用非常广泛,从晶圆加工到封装测试的各个环节,SECS-II都发挥着重要作用。
1.SECS-II的基本概念
SECS-II是一种基于消息的通信协议,用于半导体设备与制造执行系统(MES)或主机之间的数据交换。它定义了消息的结构、编码方式和通
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