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GEM)系列:SECS-II_(6).SECS-II消息构建与解析.docx

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SECS-II消息构建与解析

在半导体制造设备控制系统(SECS/GEM)系列中,SECS-II(SemiconductorEquipmentCommunicationStandardII)是用于设备与主机之间通信的标准协议。SECS-II消息的构建与解析是实现设备与主机通信的基础,本节将详细介绍SECS-II消息的结构、构建方法以及解析过程。

SECS-II消息结构

SECS-II消息由多个层级组成,每个层级都有特定的格式和意义。SECS-II消息的基本结构如下:

MessageHeader(消息头):包含消息的基本信息,如消息类型、消息长度

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