薄膜过程检验规范.pdfVIP

1.目的和范围

规范过程检验，确保产品满足顾客要求。

2.职责

生产技术部，品质部负责对过程进行进监视和测量。

3.检验要求

3.1沉积镀膜（CVD）：

3.1.1沉积镀膜技术要求：

CVDSpec

Unifor

avg.Dep.avg.avg.

SystemLayermity(Remarks

THK(nm)time(sec)Edge(nm)Rs(Ω⁄□)

%)

1ARC

2FrontZnO

P

3I

N

4BackZnO

3.1.2测试频率：

1）.每次更换B2H6后均要进行测试；

2).每班次进行首片检验；

3.2激光划线（Laser）：

3.2.1激光划线技术要求：

1).P1根据RMS测试结果进行判定，NGcell数量≥10时，玻璃NG.

2).P2、P3、P4用台阶仪进行观察测试，划线沟槽边缘应整齐，划线深度P2=?P3=?P4=?

3.2.2测试频率：

P1每片检，P2、P3、P4每班次进行首片检验

3.3溅射镀膜（sputter）：

3.3.1溅射镀膜技术要求：

厚度

均匀性

3.3.2测试频率

每次更换靶材后需测试

3.4刷银浆技术要求：

3.4.1

厚度

均匀性

线条

3.4.2测试频率:

丝网印刷？次后进行检验

3.5.薄膜电池片检验要求：

3.5.1膜层上有斑点，判NG；

3.5.2膜层划伤,判NG；

3.5.3膜层脱落,判NG；

3.5.4膜层异常及色差,判NG；

3.5.5玻璃破碎或裂痕,判NG；

3.5.6检测频率：

QC对每片进行检测。

3.6镀锡铜带、InsulationFilm、耐高温胶带、银胶、小方形EVA及喷砂判定标准

3.6.1偏移：

3.6.1.1两条LeadWire应分别在最边缘Cell中间位置处，不可以跨越P3与P4线；

3.6.1.2BusWire应在InsulationFilm中间位置处。BusWire与LeadWire垂直交接处，

BusWire一端应与LeadWire外侧边缘平齐；

3.6.1.3玻璃边缘处条形InsulationFilm一端应与LeadWire内侧边缘平齐；玻璃中间位

置处条形InsulationFilm一端应压在小方形InsulationFilm上方。

3.6.1.4小方形EVA与小方形InsulationFilm应四周对齐，且四边与玻璃四边平行放置，

EVA与膜层面接触。

3.6.2翘起：

镀锡铜带、InsulationFilm均不允许有翘起。

3.6.3银胶：

LeadWire与膜层接触处要有银胶，且银胶量适中（会根据机台实际情况定），不可偏

少。

3.6.4喷砂判定标准：

玻璃边缘喷砂宽度应大于或等于12mm，且不可超过P4线。喷砂处要喷砂完全。

3.6.5当发现有上述偏移，翘起，漏点银胶及喷砂不良时，均需返工。

3.6.6检测频率：

QC对每片进行检测。

3.7薄膜组件检验要求：

3.7.1铺设：

背玻应与膜层玻璃四边对齐，EVA铺设时要保证四边均外露。铺设背玻后两根BusWire

均需折向背玻表面，并贴上耐高温胶带，耐高温胶带要保证将圆孔与BusWire全部覆

盖上。

3.7.2修边

修边结束后，上下玻璃边缘应对齐，修边需平滑，无毛刺，无缺口。

3.7.3接线盒