DB34T 3442-2019 超高真空不锈钢真空部件表面处理方法.pdfVIP

ICS25.220.20

F04

DB34

安徽省地方标准

DB34/T3442—2019

超高真空不锈钢真空部件表面处理方法

Surfacetreatmentmethodforultrahighvacuumstainlesssteelvacuumparts

2019-11-04发布2019-12-04实施

安徽省市场监督管理局发布

DB34/T3442—2019

前言

本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。

本标准由合肥聚能电物理高技术开发有限公司提出。

本标准由安徽省核聚变工程技术及应用标准化技术委员会归口。

本标准起草单位：合肥聚能电物理高技术开发有限公司、中国科学院等离子体物理研究所、安徽省

质量和标准化研究院、特种焊接技术安徽省重点实验室。

本标准主要起草人：刘志宏、吴杰峰、邢银龙、李波、周能涛、夏世波、慕香红、彭黎明、沈旭、

李琳琳。

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DB34/T3442—2019

超高真空不锈钢真空部件表面处理方法

1范围

本标准规定了超高真空不锈钢真空部件表面处理方法的基本要求、工艺、质量要求、检验方法等。

本标准适用于超高真空不锈钢部件生产加工以及焊接装配过程形成的水垢、油垢及其他污垢的表面

处理。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB8978污水综合排放标准

GB16297大气污染综合排放标准

CB/T3595不锈钢酸洗钝化膏

3基本要求

3.1溶液

3.1.1推荐的不锈钢真空部件清洗溶液配方和工艺条件参见附录A。

3.1.2清洗溶液应定期检测，根据检测数据及时调整其化学成分含量，并保持在溶液质量比满足附录

A要求。

3.1.3表面处理不应使用含有卤族元素的清洗剂，使用的去离子水不应循环使用。

3.1.4当清洗过10件后或溶液成分超标，超声清洗液与酸洗溶液应重新更换。

3.2设备

3.2.1超声清洗槽、加热溶液所用的材料和设施应适合于相应的化学介质和工作温度。

3.2.2搬运清洗过程使用的工装应使用不锈钢制作。

3.2.3去离子水漂洗槽应具有排水口，便于及时更换去离子水。

3.3不锈钢真空部件

3.3.1不锈钢真空部件表面应无涂层、无起皮、麻点、磕碰等缺陷。

3.3.2焊接件真空密封部分应采用密封焊，不允许有裂纹、漏焊、未焊透、气孔等的缺陷，并除去飞

溅、焊渣、毛刺。

3.3.3真空部件加工后粗糙度不大于Ra3.2。

3.3.4不应有除不锈钢以外其他材质的部件。

3.3.5不锈钢真空部件在表面处理操作过程中，不应与不锈钢以外的材料接触。铅或其它含低熔点金

属化学成分的化合物或材料在任何时候都不应与不锈钢真空部件表面直接接触。应注意防护表面，不允

许磕碰、划伤等。

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DB34/T3442—2019

3.4真空度

3.4.1不锈钢真空部件的真空度应满足10-5-10

Pa~10Pa。

3.4.2真空度低