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一种平面剪切型压电式加速度传感器的设计及测试技术研究

传感器是故障预测与健康管理系统的最前端，是获取飞行器自身状态参数及

所处工况环境参数的重要载体，而其中加速度传感器是使用最多的传感器之一，

它被广泛的应用于结构振动加速度的监测系统中。文章所设计传感器选用

PZT-5A作为敏感材料，参考多种敏感元件电荷产生机理，分析多种压电式加速

度传感器结构，设计出以测量加速度物理量转化为电信号的剪切型轻质压电式加

速度传感器，经实验验证，其具有较大的量程、较宽的工作温度范围、较高的防

护等级，并能够在剧烈振动环境中保持良好性能。

标签：平面剪切型；压电式；加速度传感器；有限元；灵敏度

Abstract：Sensoristhefrontendofthefaultpredictionandhealthmanagement

system，anditisanimportantcarriertoobtaintheaircraft’

theworkingenvironmentparameters.Theaccelerationsensorisoneofthemost

widelyusedsensors.Itiswidelyusedinthestructuralvibrationacceleration

monitoringsystem.ThesensordesignedinthispaperchoosesPZT-5Aasthesensing

material，referstothechargegenerationmechanismofvarioussensingelements，

lightweightpiezoelectricaccelerometerisdesigned，whichisconvertedinto

thatthesensorhasalargemeasuringrange，awideworkingtemperaturerangeanda

environment.

Keywords：planesheartype；piezoelectrictype；accelerometer；finite

element；sensitivity

引言

飛行器故障预测与健康管理（PHM，PrognosticsandHealthManagement）技

术被应用于飞行器的故障检测、故障隔离、诊断增强、性能检测、故障预测、健

康管理、部件寿命追踪等领域，它具有提前发现故障隐患，避免重大灾难性事故，

降低飞行器维护保障成本等作用[1]。在面向飞行器故障预测与健康管理系统应

用中，飞行器不同位置的结构材料受到不同的工况环境影响，通常具有高温高压、

振动剧烈、载荷强度大等特点。由于加速度传感器在使用过程中通常以螺栓固定、

胶粘连接或者预埋结构等方式固定于被测结构中，为了减少加速度传感器对结构

完整性的影响，需要对加速度传感器的体积质量、封装形式提出较高要求。同时，

需要在飞行器整个长期服役阶段保持良好的工作性能，因此需要对加速度传感器

的可靠性与稳定性提出较高要求。

本文给出了由外壳、加速度敏感组件、前置信号处理器、插座、线缆等组成

的传感器总体构架设计。根据压电式加速度传感器的测振原理和工作特点，考虑

压电效应以及微机械加工工艺，参考现有压电式加速度结构形式，设计了一种具

有高灵敏度，高可靠性，低体积质量的平面剪切型轻质压电加速度传感器。

1压电加速度传感器力学模型

压电加速度传感器的等效动力学模型，它可以等效一个单自由度的质量（M）

-弹簧（K）-阻尼（c）的二阶振动系统，如图1所示。

压电加速度传感器动态响应特性可以转换为附加质量块关于基础的相对运

动位移信号ur与输入加速度信号a之间的动态关系。根据上文建立的等效动力

学模型，建立系统的运动微分方程，为：

式（1）中，ub为基础运动位移，ur为附加质量块关于基础的相对运动位移。

基础运动加速度a与基础运动位移ub满足以下关系：

方程（1）可以改写成：

式（3）中，ωn与？灼分别为系统的无阻尼角频率与阻尼比系数，它们的表

达式分别为：

利用拉普拉斯变换，获得压电加速度传感器的动力学传递函数模型，即：

假设基础输入加速度信号为正弦信号，即：

a（t）=Amsinωt