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基于柔性压力传感器的应用与发展专利

综述

关键词：柔性；压力；传感器；电容；压阻；压电；摩擦；起电

一、柔性压力传感器概述

近年来，柔性电子设备慢慢进入人们的生活之中，各种形式的柔性传感器作

为感知外界环境的方式，其研制及应用受到了国内外学者的广泛关注。研究人员

对柔性压力传感器的研究趋于追求更快的响应速度、更高的灵敏度、更宽的检测

范围、更高的分辨率、更好的耐用性等。虽然柔性压力传感器的类型主要分为电

容式、压阻式、压电式和摩擦发电式四个方向，工作原理较为简单，但设计一个

新颖的改善结构尤为困难。随着计算机技术、智能控制技术、传感技术及人工智

能的不断发展，柔性压力传感器作为人机交互的重要桥梁，目前对于其压力检测

范围、灵敏度的要求越来越高。

二、柔性压力传感器的测力原理及特点

2.1电阻式柔性压力传感器

电阻式柔性压力传感器应用非常广泛，主要分为三类：人机交互、人体健康

监测和电子皮肤，电阻式柔性压力传感器基于压阻原理实现传感，利用材料本身

受压形变导致电阻变化的原理从而感知压力信号，适用于可穿戴设备，可用于压

力、应变等物理量测量，可安装在人体关节、柔性触摸屏、柔性键盘等应用上。

以应用需求为导向，通过微结构设计提高灵敏度、测量范围、分辨率，这需要开

发更为精密的制备技术，实现多重刺激响应、良好的生物兼容性、透气性，同时

实现低成本、大面积阵列制备和更小分辨率。

华东师范大学的专利CN106595916A公开了一种碳基电阻式柔性压力传感器，

传感器呈四层薄膜结构，包括柔性聚酰亚胺薄膜层、银电极层、柔性石墨烯和氧

化石墨烯的复合薄膜层以及氧化石墨烯薄膜绝缘保护层。当该压力传感器受到压

力作用或者发生弯曲应变时，通过测量银电极两端的电阻变化值即可得到压力传

感器的受力情况。整体呈薄膜状结构，柔性性质好，可在弯曲任意角度的状态下

正常工作；灵敏度高，应变系数在2.1‑3之间；压力测量范围广，为10Pa至

900kPa；具有很高的分辨率和超快速动态响应，能测出高达10kHz的动态高频压

力信号；稳定性质好，通过了8000次以上的稳定性重复测试。其制备工艺简单，

设备成本低。

2.2电容式柔性压力传感器

电容式柔性压力传感器是利用电容的变化来感知并测量压力；改善电容式柔

性压力传感器性能的方法包括：新型材料的制备、介电层微结构化及物理化学性

质调控、整体结构优化设计、实现多功能化等。同样在可穿戴电子设备、医疗、

人机交互和智能家居等领域进行了广泛应用，具有一定的使用价值和广阔的应用

前景。

吉林大学的专利CN111780897A公开了一种仿生多层电容式柔性压力传感器

及其制备方法，属于仿生与传感器领域。包括：第一柔性基板、第一电极层、第

一微结构层、双面阶梯仿生结构层、第二微结构层、第二电极层和第二柔性基板；

第一电极层附着于第一柔性基板的微阵列结构内侧，第一微结构层的光滑侧与第

一电极层相接触，第一微结构层的带有微结构侧与双面阶梯仿生结构层相接触，

双面阶梯仿生结构层，处于传感器的中间位置，第二微结构层的光滑侧与第二电

极层相接触，第二微结构层的带有微结构侧与双面阶梯仿生结构层相接触，第二

电极层附着于第二柔性基板的微阵列结构内侧。可提高传感器的灵敏度、压力检

测下限，缩短响应时间，并且改善传感器的线性度。

2.3压电式柔性压力传感器

压电式柔性压力传感器由于能够实现自供能的特点，正在受到越来越多的关

注，压电式柔性压力传感器利用压电材料的压电特性，建立压力和电荷之间的关

联关系，适用于检测动态压力信号的变化，如人体脉搏信号，目前主要的压电材

料有压电陶瓷和压电薄膜；可用于柔性穿戴设备、智能机器人、医疗康复等领域。

在人体可穿戴设备方面，传感器的透气性也是一个重要的需求，纤维薄膜越来越

多的应用于传感器的制备。

西安交通大学的专利CN112284576A公开了一种全有机材料制备的压电式柔

性压力传感器及制备方法，传感器包括有机电极纤维薄膜以及有机压电纤维薄膜，

有机电极纤维薄膜和有机压电纤维薄膜之间通过热熔无纺布粘接，形成有机电极

纤维薄膜‑热熔无纺布‑有机压电纤维薄膜‑热熔无纺布‑有机电极纤维薄膜结构；传

感器为全有机材料，具有可再生、绿色环保、低成本优点。

2.4摩擦起电式柔性压力传感器

摩擦起电式柔性压力传感器基于摩擦起电和静电感应原理制成，具有结构简

单、可自供能、输出电压高，