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低迟滞MEMS电容式气压传感器设计

周晓;刘清惓

【摘要】Fortheproblemofmechanicalhysteresis,amethodofreducing

hysteresisoffsetispresentedandalowhysteresiscapacitivepressure

sensorisdesigned.Thesensorworkingperformanceissimulatedwith

ANSYSandFLUENTsoftwaretoanalysetemperaturedriftofsensor,its

capacitancesensitivity,theheatingpowerandthematchingviaholesize.

Analysisresultsshowthatsensorcapacitivetemperaturedriftofthesensor

is0.029fF/K,capacitivesensitivityis30fF/kPa.Heatingcavityaircanmake

thecavityairpressureincrease20hPamoreover±0.2hPathansensor

hysteresiserror.Thislaysthefoundationforthedesignandthestructure

optimizationoflowhysteresissensor.%针对传感器的机械迟滞问题,提出一种

减小迟滞偏移的方法,设计了低迟滞误差的电容式气压传感器。使用ANSYS和

FLUENT软件模拟电容式传感器的工作性能,分析传感器的温漂特性、电容灵敏度

及加热功率与通孔大小的匹配问题。分析结果表明传感器的电容温漂为0.029

fF/K,电容灵敏度为30fF/hPa；加热空腔气体可以驱动空腔内气压增加20hPa,超

过传感器的迟滞误差范围,为低迟滞误差传感器的设计和结构优化提供了依据。

【期刊名称】《电子器件》

【年(卷),期】2014(000)002

【总页数】5页(P195-199)

【关键词】迟滞;有限元分析;电容;气压传感器

【作者】周晓;刘清惓

【作者单位】南京信息工程大学电子与信息工程学院，南京210044;南京信息工

程大学电子与信息工程学院，南京210044

【正文语种】中文

【中图分类】P412.1

目前常用的MEMS压力传感器有压阻式传感器和电容式传感器，后者与前者比较

具有高灵敏度、低温漂、长期稳定性好等优点［1］。压力传感器在工业生产、气

象预报、气候分析、环境检测、航空航天等领域发挥着不可替代的作用，对于工业

级传感器，精度达到0.1‰即可满足要求。在气象预报、环境检测及航空航天领域，

对气压传感器的精度要求更高，而传感器的非线性、机械迟滞误差等问题遏制了气

压传感器测量精度及准确度的进一步提高。

针对传感器的非线性、机械迟滞误差问题，前者可通过软件加以修正，对于后者，

本文提出一种减小膜片迟滞误差的方法，并且设计了低迟滞的电容式气压传感器。

通过ANSYS［2］和FLUENT［3］软件分析该传感器在不同温度、不同气压下的

性能及通孔处气体的流动状态，确定了加热电阻的加热功率、加热时间及通孔的大

小，这些参数为低迟滞误差传感器的设计提供了依据。

本文设计的气压传感器由三层单晶硅键合而成，如图1所示，传感器结构包括第1

层高阻硅衬底、第2层硅衬底、第3层硅衬底、真空腔、空腔、加热电阻、通孔。

与传统传感器［4］相比，该气压传感器增加了第3层衬底。第3层衬底上的通孔

连通空腔与外界空气，在稳定状态下，空腔内的气体压强与外界的气体压强相同。

电容的上极板是方形导体，下极板是两个相同的并排长方形导体，3个导体构成两

个串联的平行板电容。电容所在的空腔为真空腔，第3层衬底空腔内的气体挤压

第2层衬底的膜片，导致其弯曲，电容的上极板随膜片的形变向下偏移，通过测

量电容即可得到气体的压强。

对于高精度电容式气压传感器，传感器膜片的机械迟滞造成的误差不容忽视。

Coleman和Hodgdon研究的Duhem模型［5］认为当载