3 氦质谱检漏仪校准规范-不确定度评定.docx

氦质谱检漏仪校准规范

不确定度评定

校准规范起草小组

2024年11月

氦质谱检漏仪修正因子测量不确定度评定

1概述

以测量范围（1×10-10～1×10-5）Pa·m3/s的氦质谱检漏仪为例，用测量范围为（1×10-10～1×10-5）Pa·m3/s，扩展不确定度Urel=10%（k=2）的标准真空氦漏孔组作为测量标准，采用直接比较法进行校准。本例以环境温度为(19.5~20.5)℃、标准漏率示值1×10-10Pa·m3/s点为例进行评定，并忽略磁场、电源变化、气体对流等带来的影响。

2测量模型

将归一化处理，可得到

式中：------第i个校准点的修正因子，%；

------第i个校准点检漏仪示值归一化后的漏率值，Pa·m3/s；

-------第i个校准点的本底漏率，Pa·m3/s；

------第i个校准点标准漏率，Pa·m3/s。

3不确定度计算

4不确定度来源

4.1标准设备即标准真空氦漏孔组引入的标准不确定度分量

4.2被检卤素检漏仪引起的标准不确定度分量，它由下列不确定度分项构成：

被测检漏仪的分辨力引起的不确定度分项；

被测检漏仪的重复测量引起的不确定度分项；

被测检漏仪的本底漏率引起的不确定度分项

5标准不确定度的评定

5.1的计算

5.1.1标准真空氦漏孔组引入的不确定度分量

由标准真空氦漏孔的校准证书可知，Urel=10%，k=2

5.1.2校准过程中温度波动引起的不确定度分量

检漏仪校准过程中，温度波动不超过1℃，标准漏孔漏率的变化一般不超过3%，按照均匀分布，则

1.73%

则=5.29%

5.2的计算

5.2.1被测检漏仪的分辨力引起的不确定度分量

被测检漏仪的分辨力为0.01×10-10Pa·m3/s，则认为在±0.005×10-10Pa·m3/s的区间内服从均匀分布，

Pa·m3/s

5.2.2被测检漏仪的重复测量引起的不确定度分量

用标准真空氦漏孔在标准漏率值1.04×10-10Pa·m3/s对检漏仪独立测量3次，归一化后所得数据分别为：1.14×10-10Pa·m3/s、1.12×10-10Pa·m3/s、1.13×10-10Pa·m3/s。

采用极差法计算单次测量标准差s：

sPa·m3/s

测量结果取6次读数的平均值，即

Pa·m3/s

5.2.3被测检漏仪的本底漏率引起的不确定度分项

本底漏率为1×10-13Pa·m3/s，认为其在±5×10-14Pa·m3/s区间内服从均匀分布，则

Pa·m3/s

由于和有重复部分，则

=0.64%

6合成不确定度计算

6.1标准不确定度分量一览表如表C.1所示。

表C.1标准不确定度分量一览表

标准不确定度符号

不确定度来源

标准不确定度

灵敏系数

标准不确定度分量

标准漏率引入

5.29%

1

5.29%

※标准真空氦漏孔引入

5.0%

※温度波动引入

1.73%

被测检漏仪引入

0.64%

1

0.64%

※被测检漏仪重复性测量引入

※被测检漏仪分辨力引入

※被测检漏仪本底漏率引入

6.2合成标准不确定度uc的计算

5.4%

7扩展不确定度U计算

取包含因子，则扩展不确定度为