传感器技术 课件 第4章 电容式传感器.pptx

第4章电容式传感器;优点：

测量范围大、灵敏度高、结构简单、适应性强、动态响应时间短、易实现非接触测量等。

应用：

压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量等测量之中。;4.1电容式传感器的工作原理及类型;电容式传感器原理：

改变电容C的方法有三种：d、S和ε中的某一项或几项有变化时，就改变了电容值C；从而反映了被测量的大小。;几种不同电容传感器的示意图;4.1.1变极距型电容传感器;特点：变极距型电容传感器器存在着原理非线性，所以实际应用中，为了改善非线性、提高灵敏度和减小外界因素(如电源电压、环境温度)的影响，所以常常作成差动结构或采用适当的测量电路来改善其非线性。;※电容式传感器的灵敏度及非线性;情况2：当极板距离有一个增量

（二极板远离，考虑ΔC的大小）：;综合上面两种情况：;为提高指标，自然想到采用差动式结构。;如果采用差动结构式（△d/d01）的电容传感器，其灵敏度推导如下：;变面积型电容传感器中，平板形结构的电容量变化为：

（S为初始的重合面积、S1为变化后的重合面积）

;圆柱形结构受极板径向变化的影响很小，成为实际中最常采用的结构，电容量C为：;例题：

本题基于一个电容式传感器测量角位移的实验装置：

欲测量转轴MN转过的角位移θ（0≤θ≤π），转轴上安装一半圆形金属平板A，A正上方距离为d的位置固定一平行平板A1，与A形状相同。A与A1形成理想电容C1。（半圆形平板视为理想电容，介质为空气。）

问题①：写出传感器C1随角度θ变化的表达式，以及传感器输出的灵敏度K1（=dC1/dθ）。

将此传感器改进为差动结构，即在A下方距离d的位置固定另一平板A2，与A、A1形状相同，位置平行且A2与A1位置交错成180°。随着转轴的转动，A与A1形成电容C1，同时A与A2形成电容C2。令ΔC=C1－C2为差动电容输出。

问题②：写出ΔC=C1－C2的表达式，以及此时传感器输出的灵敏度K差动=（dΔC/dθ）。

问题③：说明此实验装置改进为差动结构后的优点，差动结构中，非线性误差指标是否有改善？分析说明原因。;;4.1.3变介电常数型电容式传感器;4.1.3变介电常数型电容传感器

单组式平板形厚度传感器如下图，传感器的电容量与被测厚度的关系如下（电容极板面积为S，δ是二极板之间的距离（固定值），δX是被测非金属带状材料(ε)的厚度），推导后发现C与δX成单值函数关系。;δx;单组式平板形线位移传感器如下图，传感器的电容量与被测位移的关系为：;圆筒式液位传感器如下图，传感器的电容量与被测液位的关系为（C1、C2分别为水面上方与下方的圆筒形电容量）：;例某电容式液位传感器由直径为40mm和8mm的两个同心圆柱体组成。储存罐也是圆柱形，直径为50cm，高为1.2m。被储存液体的εr＝2.1。计算传感器的最小电容和最大电容以及当用在储存罐内传感器的灵敏度(pF/L);一特点：

1．温度稳定性好

传感器的电容值一般与电极材料无关，仅取决于电极的几何尺寸，且空气等介质损耗很小，因此只要从强度、温度系数等机械特性考虑，合理选择材料和几何尺寸即可，其他因素(因本身发热极小)影响甚微。而电阻式传感器有电阻，供电后产生热量；电感式传感器存在铜损、涡流损耗等，引起本身发热产生零漂。

2．结构简单，适应性强

电容式传感器结构简单，易于制造。能在高低温、强辐射及强磁场等各种恶劣的环境条件下工作，适应能力强，尤其可以承受很大的温度变化，在高压力、高冲击、过载等情况下都能正常工作，能测超高压和低压差，也能对带磁工件进行测量。此外传感器可以做得体积很小，以便实现某些特殊要求的测量。;3．动态响应好

电容式传感器由于极板间的静电引力很小，（约几个10-5N），需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几MHz的频率下工作，特别适合动态测量。又由于其介质损耗小可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数，如测量振动、瞬时压力等。

4．可以实现非接触测量、具有平均效应

当被测件不能允许采用接触测量的情况下,电容传感器可以完成测量任务。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应,可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。

电容式传感器除上述优点之外，还因带电极板间的静电引力极小，因此所需输入能量极小，所以特别适宜低能量输入的测量，例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨力非常高，能感受0.001m甚至更小的位