传感器技术 课件 第7章 压电式传感器.pptx

第7章压电传感器

7.1 压电式传感器的工作原理

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压电式传感器可以对各种动态力、机械冲击和振动进行测量，在声学、医学、力学、导航方面都得到广泛的应用。它具有体积小、质量轻、结构简单、频响高、信噪比大等特点。缺点是某些压电材料输出的直流响应差，需要采用高输入阻抗电路或电荷放大器来克服这一缺陷。

压电式传感器的工作原理是基于电介质材料的压电效应，当对材料的表面施加力时，其表面会产生电荷，电荷经电荷放大器和测量电路放大变换后，成为与外力成正比的电输出，由此再进行测量。值得注意的是压电传感器不能用于静态测量，并且经过外力作用后的电荷，只有在回路具有无限大的输入阻抗时才得到保存。

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压电效应可分为正压电效应和逆压电效应，当对电介质材料施以外力时，电介质材料为了对抗变形会在材料表面产生正负电荷，而这种因为形变而产生的电极化现象称为正压电效应。

正压电效应

7.1.1 压电效应

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当对电介质材料施加电场时，电介质材料表面就会出现一些机械形变的现象，并且电介质材料形变的程度与对其施加的外电场强度成正比，这种现象称为逆压电效应。

逆压电效应

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这种正压电效应能将机械能转换成电能，逆压电效应则反之。单晶材料和多晶铁电陶瓷中都可产生压电效应。压电效应通常都源自于晶体结构。石英等天然材料具有压电效应，原因就在于其自身的晶体结构。压电效应被广泛应用于各种器件如振荡器、换能器、微型直线电机、滤波器等，以及压电式传感器中。

压电材料的压电性涉及到力学和电学之间的相互作用，而压电方程就是描述压电材料的力学量和电学量之间相互关系的表达式。在压电式传感器中，压电方程通常表现为压电材料受到外力F时，压电材料的某一外表面会产生相对应的电荷Q。其关系表示

Q=dF

关系式中的d指压电系数，d是一个常数。因为传感器中的压电材料所受到力的方向和方式不同，其传感器的压电系数也会不同，所以常用d_ij来表示不同的压电系数。

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压电材料是指在受到压力电场的作用下能够呈现压电效应的一类材料。这类压电材料可以用来设计高性能传感器。压电材料可分为无机压电材料和有机压电材料两大类。

无机压电材料主要包括单晶体材料，压电陶瓷，如铅锆钛酸钾（PZT）、硼酸钠（NaNO3）和锌氧化物（ZnO）等。这些材料具有优异的压电性能和稳定性，广泛应用于传感器、换能器、电子元件等领域。

有机压电材料是一类相对较新的材料，由有机聚合物构成，如聚偏氟乙烯（PVDF）和聚偏二氟乙烯三氟乙烯（P(VDF-TrFE)）。有机压电材料具有较高的柔韧性和可塑性，适合于弯曲和可穿戴应用。

7.1.2 压电材料

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石英是压电晶体的代表，石英晶体是一种应用广泛的压电晶体。它是二氧化硅单晶体，属于六角晶系，为规则的六角棱柱体。石英晶体有3个晶轴如图所示:X轴、Y轴和Z轴。Z轴又称光轴，它与晶体的纵轴线方向一致：X轴又称电轴，它通过六面体相对的两个棱线并垂直于光轴：Y轴又称为机械轴，它垂直于两个相对的晶柱棱面。

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单晶体材料

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石英晶体的压电性是由其晶体结构特点所决定的。在石英晶体中，硅原子和氧原子通过共价键结合形成了三维的网状结构，其中硅原子位于晶体的中心位置，而氧原子则位于硅原子周围形成四面体结构。当施加外力或应力于石英晶体时，晶体结构发生变形，导致正负电荷的位移和重新分布，从而在晶体内部产生电荷分离和电势差，表现出压电效应。

石英晶体是一种各向异性的介质，在各个方向上晶体性质都是不同的。当施加力沿着电轴X方向时，产生的电荷效应被称为“纵向压电效应”；而当施加力沿着机械轴Y方向时，则产生的电荷效应称为“横向压电效应”。在光轴Z方向受力时，不产生压电效应。

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单晶体材料

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单晶体材料

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晶片上电荷极性与其受力方向的关系如下图所示：

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单晶体材料

a)b)c)d)

电荷与受力方向的关系

a)x轴向受压力b)x轴向受拉力c)y轴向受压力d)y轴向受拉力

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当对压电陶瓷施加机械应力或电场时，压电材料中的正负电荷会分离，并形成一个电畴。电畴是指材料内部的电场强度存在一个方向性的区域。压电陶瓷的电畴可以在材料内部产生极化，即电畴中的正负电荷会分别向材料的不同方向偏移，如图所示。

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压电陶瓷

压电陶瓷中的电畴

a)原始状态b）极化状态

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有机压电材料是指由有机分子构成的具有压电效应的材料。相比传统的无机压电材料，有机压电材料具有柔性、低成本、可塑性和可加工性等优点。

PVDF是最常见的有机压电材料之一。它具有