T STIC 110096—2024 半导体用多级罗茨干式真空泵.pdf

ICS23.160

CCSJ78

STIC

团体标准

T/STIC110096—2024

半导体用多级罗茨干式真空泵

Multi-stagerootsdryvacuumpumpsforsemiconductor

2024-01-01发布2024-01-01实施

上海市检验检测认证协会  发布

T/STIC110096—2024

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4型式、型号与基本参数1

型式1

型号1

基本参数2

5技术要求2

6测量方法2

测量装置2

测量条件3

抽气速率和极限全压力的测量3

消耗功率的测量3

外观的检查3

工作温度的测量3

噪声的测量3

入口最大允许压力的测量3

电气控制测试3

无油测试3

振动测试4

漏率测试4

7抽样及判定方法4

抽样方法4

判定方法4

8检验规则4

9标志、包装、运输和贮存5

标志5

包装5

运输6

贮存6

I

T/STIC110096—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由上海市检验检测认证协会提出并归口管理。

本文件起草单位：上海汉钟精机股份有限公司、合肥通用机械研究院有限公司、昆山帕斯卡真空技

术有限公司、上海华革真空技术有限公司、武汉凯芯通半导体技术有限公司、方圆标志认证集团上海有

限公司、上海市检验检测认证协会。

本文件主要起草人：付娜、陈峰、彭申、曹雪妹、郑庆伟、吴俊峰、柯俊良、吴少坤、宋来富、张

毅。

本文件首批承诺执行单位：上海汉钟精机股份有限公司、合肥通用机械研究院有限公司、昆山帕斯

卡真空技术有限公司、上海华革真空技术有限公司、武汉凯芯通半导体技术有限公司、方圆标志认证集

团上海有限公司、上海市检验检测认证协会。

II

T/STIC110096—2024

半导体用多级罗茨干式真空泵

1范围

本文件规定了半导体用多级罗茨干式真空泵的型式、型号与基本参数、技术要求、测量方法、抽样

及判定方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于半导体用多级罗茨干式真空泵（以下简称“泵”）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T3163真空技术术语

GB/T69