《微纳制造》ppt课件.pptx

微纳加工技术

姓名：薛春荣

学号：20112097104

纳米技术(nanotechnology),也称毫微技术，是研究结构尺寸在0.1至100纳米范围内材料的性质和应用。

1981年扫描隧道显微镜发明后，诞生了一门以0.1到100纳米长度为研究分子世界，它的最终目标是直接以原子或分子来构造具有特定功能的产品。因此，纳米技术其实就是一种用单个原子、分子射程物质的技术

纳米技术是一门交叉性很强的综合

学科，研究的内容涉及现代科技的广阔领域。

纳米科学与技术主要包括：纳米体系物理学、

纳米化学、纳米材料学、纳米生物学、纳米

电子学、纳米加工学、纳米力学等。这七

个相对独立又相互渗透的学科和纳米材料、

纳米器件、纳米尺度的检测与表征这三个研

究领域。纳米材料的制备和研究是整个纳米

科技的基础。。

利用纳米技术将氙原子排成IBM学

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重庆大学研究生院微纳加工技术

第一章绪论

纳米技术

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1.2微纳技术概念的提出及应用领域0

随着制造业的发展对加工精度提出了越来越的要求高，传统机床的加工精度已经远远能满足飞速发展的消费及军工领域的要求，如电子硅芯片、大规模集成电路，以及对表面粗糙度要求很高的液晶面板等，于是，人们把眼光投入到精度更高的加工技术上，从最初的毫米级，到微米级(千分之一毫米),到纳米级(千分之一微米),于是，“微纳技术”这一概念就应运而生了。

微纳技术在二十多年的发展过程中。从刚开始的单纯理论性质的基础研究衍生出了许多细分。如微纳级精度和表面形貌的测量，微纳级表层物理、化学、机械性能的检测，微纳级精度的加工和微纳级表层的加工原子和分子的去除、搬迁和重组，以及纳米材料纳米级微传感器和控制技术：微型和超微型机械；微型和超微型机电系统和其他综合系统；纳米生物学等。

另一方面，微纳技术的应用领域也得到了很大拓展。到目前为止。微纳技术已经被广泛应用于国防军工和民用产品。最主要的应用如纳米级机械加工、电子束和离子束加、LIGA技术、扫描隧道显微加工技术等。

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我国微纳制造技术发展现状

微纳加加工技术一般指微米、纳米级(1-100nm)的材料、设计、制造、测量、控制和产品的研究、加工、制造以及应用术由于受到基础装备、工艺技术、科研经费、行业基础等多方面因素的影响。我国的微纳制造技术的研究与世界先进水平之间尚有差距。

从制造角度来说，国内的微纳技术应用除了在微电子技术、生命科学生物工程及材料应用外，在机电工程领域如静电陀螺等精确制导系统方面也有应用。但总体上来说，国内微纳制造加工成熟度不高。纳米制造在工业应用上更少。究其原因，一方面是因为我国工业底子薄，一些最适合应用到微纳技术的领域如芯片、大规模集成电路、汽车以及飞机发动机系统、高端制导系统等，核心技术、核心装备并没有掌握在我们手里；另一方面.我国的科研体系更倾向于能够产生市场效益的工程研究，而对于短期无法看到效益的基础研究支持力度不够，甚至有逐年下滑的趋势：第三。微纳制造技术不只是加工方法的问题，同样是制造装备的问题。高精密仪器设备及高精度制造、测量技术也是制约我国微纳技术发展的因素之一。

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微机电系统(MEMS)的应用领域

微型机电系统fMEMS)可以说是目前微纳技术应用最为广泛的了，如专用集成微型仪器，微型机器人。微型惯性仪表.以及小型、微型甚至是纳米卫星等。尤其是惯性仪表，它是指陀螺仪、加速度表和惯性测量平台，是航空、航天、航海中指示方向的导航仪器。由于航空航天迫切需要体积小、重量轻、精度高和工作可靠的导航仪.因此它将是MEMS未来发展应用的理想领域。其他如信息领域的分子/原子存储器、量子阱光电子器件、芯片加工设备。生命科学领域的克隆技术、基因操作系统、蛋白质追踪系统，小生理器官处理技术、分子组件装配技术，军事领域的精确制导/精确攻击技术、微型惯性平台、航空航天领域的微型飞机、微型卫星、纳米卫星等。微纳制造技术的发展，同样涉及到科研体系问题。严格意义上来说，科研分为三个领域，一个是基础研究领域，一个是工程化应用领域，一个是市场推广领域。在发达国家的科研机制中。几乎所有的基础研究领域都是由国家或政府直接或间接支持的。这种基础研究最看重的是对于国家、民生或国防的长远意义.而不是短期内的投入与产出。因而致力于基础研究的机构或者人员。

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