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先进封装行业:CoWoS五问五答
——新技术前瞻专题系列(七)
2025年1月8日
摘要
Q1:CoWoS是什么?CoWoS严格来说属于2.5D先进封装技术,由CoW和oS组合而来:先将芯片通过ChiponWafer(CoW)的封装制程连接
至硅晶圆,再把CoW芯片与基板(Substrate)连接,整合成CoWoS。核心是将不同的芯片堆叠在同一片硅中介层实现多颗芯片互联。CoWoS自2011
年经台积电开发后,经历5次技术迭代;台积电将CoWoS封装技术分为三种类型——CoWoS-S、CoWoS-R、CoWoS-L,不同类型在技术特点和应用有
所区别。语言学习平台
Q2:CoWoS的优势与挑战?CoWoS的目前具有:高度集成、高速和高可靠性、高性价比等优势。但与此同时CoWoS面临:制造复杂性、集成
和良率挑战、电气挑战、散热的挑战。
Q3:产业市场现状?后摩尔时代,先进制程工艺演进逼近物理极限,先进封装(AP)成了延续芯片新能持续提升的道路之一。2025年中国先进封
装市场规模将超过1100亿元,年复合增长率达26.5%。CoWoS先进封装技术主要应用于AI算力芯片及HBM领域。英伟达是CoWoS主要需求大厂,在台
积电的CoWoS产能中,英伟达占整体供应量比重超过50%。目前,HBM需要CoWoS等2.5D先进封装技术来实现,HBM的产能将受制于CoWoS产能,
同时HBM需求激增进一步加剧了CoWoS封装的供不应求情况。
Q4:中国大陆主要有哪些企业参与?目前国内长电科技、通富微电、华天科技等企业参与。长电科技拥有高集成度的晶圆级WLP、2.5D/3D、系
统级(SiP)封装技术和高性能的FlipChip和引线互联封装技术;通富微电超大尺寸2D+封装技术及3维堆叠封装技术均获得验证通过;华天科技已掌握
了SiP、FC、TSV、Bumping、Fan-Out、WLP、3D等集成电路先进封装技术,持续推进FOPLP封装工艺开发和2.5D工艺验证。
Q5:CoWoS技术发展趋势?CoWoS-L有望成为下一阶段的主要封装类型。CoWoS-L结合了CoWoS-S和InFO技术的优点,使用中介层与LSI芯片
进行芯片间互连,并使用RDL层进行功率和信号传输,从而提供最灵活的集成。在电气性能方面,CoWoS平台引入第一代深沟槽电容器(eDTC)是用
于提升电气性能,通过连接所有LSI芯片的电容,CoWoS-L搭载多个LSI芯片,可以显著增加RI上的总eDTC电容。
投资建议:随着大算力时代的蓬勃兴起,先进封装是提升芯片性能的关键技术路径,AI加速发展驱动先进封装CoWoS需求旺盛,先进封装各产业
链将持续受益;受益标的:长电科技、通富微电、华天科技、艾森股份、天承科技、华大九天、广立微、概伦电子。
风险提示:下游需求放缓、技术导入不及预期、客户导入不及预期、贸易摩擦加剧。
Q1
CoWoS是什么?
tVmVpVaU9UlXfXrQrQ7N8QbRmOqQsQtOlOrRnMfQpOqRbRsQsQxNoMnMuOtQpR
1.CoWoS是一种先进封装技术
CoWoS是一种先进的封装技术,能够将多个芯片堆叠在一起,然后封装在一个基板上,形成一个紧凑且高效的单元。
在芯片制造领域,前道、中道和后道指的是半导体生产过程中的三个主要阶段,具体如下:
前道(Front-EndManufacturing):前道工艺主要涉及晶圆制造,这是在空白的硅片上完成电路加工的过程,包括光刻、刻蚀、薄膜生长、
离子注入、清洗、CMP(化学机械抛光)和量测等工艺步骤。这个阶段的目标是在硅片上形成晶体管和其他有源器件,以及多层互连结构。
中道(Middle-EndManufacturing):中道是介于晶圆制造和封装测试之间的一个环节,有时也被称作“Bumping”。它通常指的是在晶
圆上形成的凸点(Bumps),这些凸点用于后续的封装过程,使得芯片能够与外部电路连接。中道制造随着高密度芯片需求的增长而变得
越来越重要,尤其是在倒装芯片(Flip-Chip)技术中。
后道(Back-EndManufacturing):后道工艺主要涉及封装和测试。包括减薄、划片、装片、引线键合、模塑、电镀、切筋/成型和终测
等步
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