《传感器原理及应用》课件_第6章.ppt

图6.21SAW气体传感器2.SAW压力传感器

图6.22所示为SAW压力传感器的结构示意图，在压电基片上沉积一层薄膜敏感区(膜片)，其上面的叉指换能器与放大器构成SAW振荡器。为了提高测量精度，补偿温度对压电基片的影响，在膜片的中间和边缘各刻制一个叉指换能器。图6.22SAW压力传感器3.SAW温度传感器

SAW温度传感器是利用振荡器频率与温度呈线性关系的原理而设计的。当环境温度变化时，改变了SAW的传播速度，从而引起振荡器频率发生变化，由频率变化量来检测温度的变化。SAW谐振型温度传感器的测温范围为－50～250℃，精度大于0.01℃，可测量出10－4～10－6℃的微小温度变化量，常用于气象测温、粮仓多点测温、火灾报警等。4.SAW湿度传感器

SAW湿度传感器是利用敏感膜感湿性与频率之间存在定量关系的原理设计的。在延迟线型SAW振荡器的两个叉指换能器之间涂敷钠盐或磺化聚苯乙烯，当这种吸湿聚合物涂层受潮湿后，SAW的传播速度将发生变化，从而引起振荡器频率发生变化。在20～70%RH湿度范围内，SAW延迟线型湿度传感器的频率与湿度呈线性关系，因此可通过频率变化量来检测湿度的大小。这种传感器广泛用于气象预报、粮食储存、医药卫生和国防建设等领域。 思考题与习题

6.1什么是正压电效应和逆压电效应？石英晶体和压电陶瓷的正压电效应有何不同？

6.2纵向压电效应和横向压电效应的区别是什么?试结合压电晶体加以说明。

6.3电荷放大器和电压放大器各有何特点？它们分别适用于什么场合？

6.4在使用压电元件时，常采用多片压电片串联或并联的形式。试述在不同接法下输出电压、电荷、电容的关系，它们分别适用于何种应用场合？6.5简述压电式超声波流量计的工作原理，并推导出流量的数学表达式。

6.6简述SAW压力传感器的工作原理，并说明如何消除温度对压电基片的影响。

6.7压电元件采用垂直x轴切片的石英晶体，压电常数d11=2.31×10－12C/N，相对介电常数εr=4.5，截面积A=5cm2，厚度h=0.5cm。当沿x轴方向受压力Fx=9.8N时，求压电元件两极片间输出电压。

6.8已知电压放大器输入回路的总电阻R=1MΩ，总电容C=100pF，用压电式加速度传感器测量1Hz的振动信号时，其幅值误差为多大？6.9压电式传感器的固有电容Ca=1000pF，电荷灵敏度Sq=30pC/N，电荷放大器的反馈电容Cf=3000pF。求：

(1)压电式传感器的电压灵敏度；

(2)测量作用力F=100N时，电荷放大器的输出电压。

6.10压电式加速度传感器电荷灵敏度Sq=100pC/g，电荷放大器反馈电容Cf=1000pF。当被测加速度a=0.5g时，求电荷放大器的输出电压(g为重力加速度)。6.11压电式传感器与电压放大器连接的专用电缆长度为1.2m，电缆电容Cc=100pF，传感器固有电容a=1000pF，放大器输入电容Ci=0，出厂标定电压灵敏度S=100V/g。若使用中改用另一根长2.9m电缆，其电容量为 ，问电压灵敏度S将如何改变？

6.12如图6.10(a)所示压电式传感器测量电路。其中传感器的固有电容Ca=1000pF，固有电阻Ra=1014Ω；电缆电容Cc=300pF；放大器输入电容Ci=0，反馈电容Cf=100pF，反馈电阻Rf=1MΩ。

(1)推导输出电压uo表达式；

(2)当A=104时，求测量误差；

(3)求下限截止频率。2.电荷放大器

为改善压电式传感器的低频特性，常采用电荷放大器。电荷放大器实际上是一个具有深度负反馈的高增益运算放大器，压电式传感器与电荷放大器连接的等效电路如图6.8(a)所示。图6.8压电式传感器与电荷放大器连接的等效电路理想情况下，传感器的泄漏电阻Ra和放大器的输入电阻Ri、反馈电阻Rf都很大，可认为开路。反馈电容Cf折合到放大器输入端的等效电容 ，与Ca、Cc、Ci并联，简化等效电路如图6.8(b)所示。此时电荷放大器的输出电压uo为

通常A=104～108，则 ，式(6.18)可简化为(6.18)(6.19)例6.2已知Ca=100pF，Cf=10pF，Ci=0，Ra=Ri=Rf=∞。若考虑Cc的影响，当A=104时要求输出信号衰减小于1%，求使用90pF/m电缆时的最大允许长度为多少？

解由电荷放大器输出电压表达式(6.18)和(6.19)可得，实际输出与理想输出的比值为

将Ca、Cf和A代入上式解得Cc=900pF，电缆最大允